[发明专利]基片加工设备

权利要求书

1.一种基片加工设备(100)，其包含：

-具有下隧道壁(122)、上隧道壁(142)和两个侧向隧道壁(128)的加工隧道(102)，其中所述隧道壁构造成用来限定出加工隧道空间(104)，所述加工隧道空间在纵向运输方向(T)上延伸，并适合容纳至少一个平行于上下隧道壁(122,142)取向的基本上平坦的基片(180)；

-在所述下隧道壁和所述上隧道壁里提供的多个气体注入通道(124,144)，其中下隧道壁里的气体注入通道(124)构造成用来提供下气体轴承(126)，而上隧道壁里的气体注入通道(144)构造成用来提供上气体轴承(146)，所述气体轴承构造成用来浮动支承所述基片(180)，并将所述基片(180)容纳在所述气体轴承之间；以及

-多个排气通道(130)，其设置在所述两个侧向隧道壁中，或者设置在上下隧道壁(122,142)中至少一个隧道壁里紧邻所述两个侧向隧道壁(128)的位置，其中各侧向隧道壁里的或者紧邻各侧向隧道壁的排气通道在运输方向上间隔开；

其特征在于，所述加工隧道分成包含所述下隧道壁的下隧道体(120)和包含所述上隧道壁的上隧道体(140)，所述隧道体(120,140)沿着至少一个纵向延伸的接合部(160)以可分离的方式彼此接合，使得它们可在闭合形态与开放形态之间相互移动，其中在闭合形态中，所述隧道壁(122,128,142)限定出加工隧道空间(104)，而开放形态能够提供通向加工隧道内部的侧向维护通道，

其中所述基片加工设备包含压力机(190)或至少一个夹具，用来迫使上下隧道体(120,140)沿着所述至少一个纵向延伸的接合部(160)接合在一起，以实现闭合形态。

2.如权利要求1所述的基片加工设备，其特征在于，所述压力机(190)或所述至少一个夹具构造成用来在所述纵向延伸的接合部处分离上下隧道体(120,140)，以实现开放形态。

3.如权利要求1所述的基片加工设备，其包含同时与上下隧道体(120,140)连接的铰链，所述铰链构造成用来铰连上隧道体(140)和下隧道体(120)以实现开放形态，以及将上下隧道体(120,140)沿着所述至少一个纵向延伸的接合部(160)合到一起，在此合起的位置，所述压力机(190)或所述至少一个夹具迫使上下隧道体(120,140)沿着所述至少一个纵向延伸的接合部(160)接合在一起，以实现闭合形态。

4.如权利要求1或2所述的基片加工设备，其特征在于，所述上下隧道壁(122,142)基本上是平坦的，以及

所述压力机(190)构造成用来移动上下隧道体(120,140)，其中上下隧道壁(122,142)处于平行关系。

5.如权利要求1所述的基片加工设备，其特征在于，所述下隧道体(120)包含两个侧向隧道壁(128)，使得其下隧道壁(122)和侧向隧道壁(128)一起限定出总体上呈U形的横向截面壁剖面。

6.如权利要求5所述的基片加工设备，其特征在于，所述侧向隧道壁(128)中的至少一个隧道壁限定出平坦的朝上接合表面(132)，以及

所述上隧道体(140)限定出平坦的朝下接合表面(148)，该平坦的朝下接合表面与上壁(122)的内表面共平面，并构造成在闭合形态下与平坦的朝上接合表面(132)邻接，从而限定出所述至少一个纵向延伸的接合部(160)。

7.如权利要求1所述的基片加工设备，其特征在于，所述接合部(160)与所述侧向隧道壁(128)中的或者紧邻所述侧向隧道壁(128)的排气通道(130)不相交。

8.如权利要求7所述的基片加工设备，其还包含压力调节机构，该压力调节机构构造成用来平衡所述接合部(160)相对两侧的压力，使得沿接合部的压降ΔP_接合部遵守ΔP_接合部＜10帕斯卡。

9.如权利要求8所述的基片加工设备，其特征在于，所述压力调节机构包含：

-气体泵(200)，其与邻近所述接合部(160)的受控排气通道(130)相连，能够控制该受控排气通道内的气体压力；以及

-压力控制系统(202)，其构造成用来通过控制所述气体泵(200)来控制该受控排气通道(130)内的压力，从而在邻近该受控排气通道的位置局部实现条件ΔP_接合部＜10帕斯卡。