[发明专利]具有浓缩功能的氢气传感器以及其中使用的氢气传感器探头

权利要求书

1.一种氢气传感器，其特征在于，

在将包含被检测氢气的被检测气体与腔室(100)连结的连通孔(200)中具有气流限制部(250)，该气流限制部被构造为通过使该连通孔(200)的流路变得细长从而使气体变得难以流入的结构部，或者，被构造为通过设置阀从而能堵塞该连通孔(200)的结构部，在所述腔室(100)内具有氢气的浓缩部(300)与氢气传感器元件(500)，上述腔室(100)为一个，在该浓缩部(300)中具有氢吸收材料(5)和加热器(25)以及温度传感器(20)，该氢气传感器具有用于将被检测气体导入至所述腔室(100)内的具有抽吸泵的导入机构(150)，该被检测气体通过该气流限制部难以进入上述腔室内且不易泄露到腔室外，利用该导入机构(150)将被检测气体导入至所述腔室(100)内，使氢吸收于所述浓缩部(300)，其后，利用所述加热器(25)将吸收于所述浓缩部(300)的氢气加热而释出于所述腔室(100)内，提高腔室(100)内的氢气浓度，能利用所述气流限制部(250)将该腔室(100)内的氢气浓度进行浓缩，利用所述氢气传感器元件(500)来输出与腔室(100)内的浓缩了的氢气浓度相关的信息，基于预先准备的校正数据，来求出被检测气体中的氢气浓度。

2.根据权利要求1所述的氢气传感器，其中，以规定的循环进行如下的操作：

利用所述导入机构(150)将被检测气体导入到所述腔室(100)内，使被检测气体中的氢气吸收于所述浓缩部(300)，利用所述加热器(25)使得来自所述浓缩部(300)的吸收氢气释出到所述腔室(100)内，伴随着该释出，利用所述气流限制部(250)将该腔室(100)的氢气进行浓缩，由所述氢气传感器元件(500)将与浓缩了的氢气浓度相关的信息进行输出。

3.根据权利要求1至2中任意一项所述的氢气传感器，其中，将钯(Pd)设为氢吸收材料(5)。

4.根据权利要求1或2所述的氢气传感器，其中，在从基板(1)上热分离了的薄膜(10)上形成所述浓缩部(300)。

5.根据权利要求1或2所述的氢气传感器，其中，将温度差传感器设为温度传感器(20)。

6.根据权利要求1或2所述的氢气传感器，其中，作为氢气传感器元件(500)，设定为接触燃烧型氢气传感器、利用氢吸附和吸收的放热作用的氢气传感器、半导体式氢气传感器、FET型氢气传感器中的任意一种。

7.根据权利要求6所述的氢气传感器，其中，在半导体的基板上形成氢气传感器元件(500)。

8.一种氢气传感器探头，其为在权利要求1至7中任意一项所述的氢气传感器中所使用的氢气传感器探头(600)，其特征在于按照下述方式构成：在腔室(100)的内部至少具备浓缩部(300)与氢气传感器元件(500)的氢气检测部(510)，在该腔室(100)内也具备具有气流限制部(250)的所述连通孔(200)。