[发明专利]流体分析装置及方法、热式流量计、质量流量控制器、流体性质确定装置

权利要求书

1.一种流体分析装置，其特征在于包括：

流道，测量对象的流体在所述流道中流动；

上游侧电阻元件，设置在所述流道的上游侧；

下游侧电阻元件，设置在所述流道的下游侧；以及

流体固有值计算部，根据上游侧参数和下游侧参数计算流体固有值，所述流体固有值表示与流体的热导率对应的固有值，所述上游侧参数是与所述测量对象的流体的流量变化时的上游侧电压的变化率相关的值，所述上游侧电压是为了使所述上游侧电阻元件发热而施加的电压，所述下游侧参数是与所述测量对象的流体的流量变化时的下游侧电压的变化率相关的值，所述下游侧电压是为了使所述下游侧电阻元件发热而施加的电压。

2.一种热式流量计，由权利要求1所述的流体分析装置测量所述测量对象的流体的流量的热式流量计，

所述热式流量计的特征在于包括流量计算部，所述流量计算部根据所述上游侧电压、所述下游侧电压、以及由所述流体固有值计算部计算出的所述流体固有值，计算所述测量对象的流体的流量。

3.根据权利要求2所述的热式流量计，其特征在于，

以使所述上游侧电阻元件的温度固定的方式施加所述上游侧电压，

以使所述下游侧电阻元件的温度固定的方式施加所述下游侧电压，

所述流体固有值是所述上游侧参数和所述下游侧参数的比。

4.根据权利要求2所述的热式流量计，其特征在于，

所述流量计算部包括：

所述流体固有值计算部；

传感器输出计算值计算部，根据所述上游侧电压、所述下游侧电压、以及规定的传感器输出计算值计算式，计算传感器输出计算值；

流量校准曲线数据存储部，对一个基准的流体存储表示所述传感器输出计算值和流量的关系的流量校准曲线数据；

转换因子计算部，根据所述流体固有值，计算所述测量对象的流体的转换因子；以及

流量换算部，根据所述基准的流体的流量校准曲线数据和所述测量对象的流体的转换因子，将在所述传感器输出计算值计算部中计算出的传感器输出计算值换算为所述测量对象的流体的流量。

5.根据权利要求4所述的热式流量计，其特征在于，所述转换因子计算部根据所述流体固有值计算转换因子变化比率，并且根据将所述转换因子变化比率作为斜率的流量的一次式，对所述测量对象的流体的各流量计算所述转换因子，所述转换因子变化比率是转换因子相对于所述基准的流体的流量的变化比率。

6.根据权利要求2所述的热式流量计，其特征在于，

所述流量计算部包括：

所述流体固有值计算部；

传感器输出计算值计算部，根据所述上游侧电压、所述下游侧电压、以及规定的传感器输出计算值计算式，计算传感器输出计算值；

流量校准曲线数据存储部，按照多个流体的热导率存储表示所述传感器输出计算值和流量的关系的流量校准曲线数据；

流量校准曲线数据取得部，从所述流量校准曲线数据存储部取得与由所述流体固有值计算部计算出的流体固有值对应的种类的流体的流量校准曲线数据；以及

流量换算部，根据由所述流量校准曲线数据取得部取得的流量校准曲线数据和在所述传感器输出计算值计算部中计算出的传感器输出计算值，计算所述流体的流量。

7.根据权利要求2所述的热式流量计，其特征在于，

所述测量对象的流体是第一流体和第二流体以规定的混合比率混合的流体，

所述热式流量计还包括：

混合比率校准曲线数据存储部，存储表示所述第一流体和第二流体的混合比率与所述测量对象的流体的流体固有值的关系的混合比率校准曲线数据；以及

混合比率计算部，根据由所述流体固有值计算部计算出的所述测量对象的流体的流体固有值和所述混合比率校准曲线数据，计算所述混合比率。

8.根据权利要求7所述的热式流量计，其特征在于还包括混合流体转换因子计算部，所述混合流体转换因子计算部根据由所述混合比率计算部计算出的混合比率，计算所述测量对象的流体的转换因子。