[发明专利]弹性波装置

说明书

提供不会招致制造工序的烦杂以及成本的上升、能有效果地压抑横模脉动的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电基板(2)上设置IDT电极(3)，在IDT电极(3)中，在第1、第2电极指(13、14)的至少一方，在比中央区域更靠基端侧以及前端侧当中至少一方侧设置相比于长度方向中央让宽度方向尺寸更大的加宽部(13a～13d、14a～14d)，第1以及第2汇流条(11、12)的至少一方具有沿着汇流条长度方向分散配置的多个开口部(15)，第1以及第2汇流条(11、12)的至少一方具有：内侧汇流条部(11A)，其位于比开口部(15)更靠第1或第2电极指(13、14)侧的位置，在第1以及第2汇流条(11、12)的长度方向上延伸；中央汇流条部(11B)，其设有开口部(15)；和外侧汇流条部(11C)。

技术领域

本发明涉及弹性表面波装置、弹性边界波装置等的弹性波装置，更详细地，涉及在电极指的一部分设置加宽部的弹性波装置。

背景技术

过去，作为谐振器或带通滤波器而广泛使用弹性波装置。在下述的专利文献1、专利文献2中，公开了在弹性表面波装置中通过形成活塞模式来抑制横模的杂散(spurious)的结构。例如在下述的专利文献1的图9、专利文献2的图4中，在IDT电极的电极指设置加宽部分。通过设置该加宽部分来形成低音速区域。

另一方面，在专利文献1的图12、专利文献2的图8(c)以及图9中，在IDT电极的一部分层叠有膜。更具体地，在IDT电极的电极指延伸的方向上，在比中央区域更靠外侧的区域层叠有膜。由此构成低音速区域。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2011-101350号公报

专利文献2：WO2011/088904

发明的概要

发明要解决的课题

但是，在电极指设置加宽部的结构中，加大加宽部的宽度也是有极限的。即，若宽度变得过大，则有可能加宽部会与相邻的电极指接触。为此，不能使低音速区域的音速充分低。因此难以确实低抑制横模。另外，在层叠追加的膜的方法中，工序烦杂，且成本变高。

发明内容

本发明的目的在于，提供不招致制造工序的复杂化以及成本的上升、能抑制横模脉动的弹性波装置。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的弹性波装置具备压电基板、和设置在压电基板上的IDT电极。在本发明中，IDT电极具有：第1汇流条；和第1汇流条分开配置的第2汇流条；基端与第1汇流条电连接、前端向所述第2汇流条延伸的多根第1电极指；和基端与所述第2汇流条连接、前端向所述第1汇流条延伸的多根第2电极指。

在本发明中，在将与所述第1以及第2电极指延伸的方向正交的方向设为宽度方向时，在第1以及第2电极指的至少一方，在比中央区域更靠所述基端侧以及所述前端侧中的至少一方侧设置相比于第1以及第2电极指的长度方向中央让宽度方向尺寸更大的加宽部。另外，所述第1以及第2汇流条的至少一方具有沿着所述第1或第2汇流条的长度方向分离配置的多个开口部。第1以及第2汇流条具有：位于比所述开口部更靠第1或第2电极指侧的位置且在第1以及第2汇流条的长度方向上延伸的内侧汇流条部；设有所述开口部的中央汇流条部；和夹着中央汇流条部位于和所述内侧汇流条部相反侧的外侧汇流条部。

在本发明所涉及的弹性波装置中，优选地，上述内侧汇流条部具有在弹性波传播方向上延伸的带状的形状。

在本发明所涉及的弹性波装置中，优选地，在所述第1电极指以及第2电极指的双方设置所述加宽部。

在本发明所涉及的弹性波装置中，优选地，在所述第1以及第2电极指的至少一方分别设置多个所述加宽部。