[发明专利]热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器

权利要求书

1.一种热敏电阻用金属氮化物材料，其是用于热敏电阻的金属氮化物材料，其特征在于，

由以通式：M_x(Al_1-wSi_w)_yN_z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，0.0＜w＜0.3、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，

所述热敏电阻用金属氮化物材料的结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。

2.根据权利要求1所述的热敏电阻用金属氮化物材料，其特征在于，

所述热敏电阻用金属氮化物材料形成为膜状，

并且为沿垂直于所述膜的表面的方向延伸的柱状结晶。

3.根据权利要求1或2所述的热敏电阻用金属氮化物材料，其特征在于，

所述热敏电阻用金属氮化物材料形成为膜状，

在垂直于所述膜的表面的方向上，c轴的取向强于a轴的取向。

4.一种薄膜型热敏电阻传感器，其特征在于，具备：

绝缘性薄膜；

薄膜热敏电阻部，在该绝缘性薄膜上由权利要求1至3中任一项所述的热敏电阻用金属氮化物材料形成；及

一对图案电极，至少形成在所述薄膜热敏电阻部的上侧或下侧。

5.一种热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法，其特征在于，其是制造权利要求1至3中任一项所述的热敏电阻用金属氮化物材料的方法，

具有使用M-Al-Si合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜的成膜工序，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种。

6.根据权利要求5所述的热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法，其特征在于，将所述反应性溅射中的溅射气压设定为小于0.67Pa。

7.根据权利要求5或6所述的热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法，其特征在于，

具有在所述成膜工序后，向所形成的膜照射氮等离子体的工序。