[发明专利]隔膜阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种隔膜阀，尤其是能够检测使用中的损伤状态的隔膜阀。

背景技术

众所周知，隔膜阀具备设置有流体流入通路、流体流出通路及向上开口的凹处的阀体、配置在阀体的凹处底面上的环状片材、以及通过按压/离开片材进行流体通路开闭的可弹性变形的隔膜。

在隔膜阀中，在隔膜断裂的情况下，阀内的流体可能向外部漏出，但是在使用毒性气体或腐蚀性气体作为流体的情况下，将伴随着危险。

为了在隔膜断裂之前进行更换，通常事先确认隔膜的耐久次数，并考虑偏差而设定直至断裂的次数，在到达该次数的时刻进行更换，但通过这种方法，有时早于设定次数而发生断裂。

因此，专利文献1中公开了设置用于监视隔膜磨损的相关状态的传感器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开2010-519488号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

检测隔膜在使用中的损伤状态时，优选检测隔膜断裂前的初期损伤状态。在上述专利文献1中，通过监视磨损，能够在早期确认损伤状态。

然而，在专利文献1的技术方案中，设定适当的信号参数，将其变化量与基线测量值比较，求出隔膜磨损的相关状态，根据这种系统结构，磨损监视系统变得复杂，存在数据处理繁琐且成本高的问题。而且，还有难以确定将哪个时刻判断为损伤的问题。

本发明的目的在于提供一种隔膜阀，其结构简单，并且能够在隔膜断裂之前切实地检测出隔膜损伤。

(二)技术方案

本发明的隔膜阀具备设置有流体流入通路、流体流出通路及向上开口的凹处的阀体、配置在阀体的凹处底面上的环状片材、以及通过按压/离开片材进行流体通路开闭的可弹性变形的隔膜，其特征在于，隔膜由多层隔膜层形成，在多层隔膜层中的至少一层上施加有配线，通过检测该配线的切断来检测隔膜的异常。

隔膜通过其外周缘部被固定到阀体上，对设置于阀体上的向上的凹处的开口进行密封，并且隔膜的中央部分相对于外周缘部可弹性变形(可上下移动)，伴随阀杆的上下移动而弹性变形，有助于流体通路的开闭。隔膜可以为金属制，也可以为合成树脂制。

“多层”表示两层以上的任意皆可。“多层隔膜层中的至少一层”指可以在所有隔膜层上施加配线，但优选仅在一层上施加配线。在层叠结构的隔膜中，通常承受最大应力的隔膜层断裂，随之整体的强度降低，由此导致隔膜整体断裂。这里，在一层隔膜层断裂的状态下，阀内的流体泄露不会发生。即，通过检测出一片隔膜损伤，能够在流体泄漏发生之前避免伴随隔膜断裂而来的危险。

为了检测一层隔膜层断裂，检测配线是否切断了。即，只要检测有无通电即可，因此无需将连续变化的检测值与阈值比较来判定，能够使用于检测在隔膜整体断裂之前的损伤状态的结构简单。对于检测配线的切断，只要定期(例如1次/1日)通电，确认是否导通即可。

优选地，多层隔膜层均为金属制，在配线与隔膜层之间设置有绝缘层，配线被保护层覆盖。

在隔膜层为金属制的情况下，必须形成有绝缘层。绝缘层及保护层优选由具有耐久性及柔软性的合成树脂形成。作为这种合成树脂，例如玻璃环氧树脂、氟树脂(PTFE、PFA等)是适合的。

施加有配线的隔膜层的厚度有时小于其他隔膜层的厚度。

于是，施加有配线的隔膜层会切实地最先断裂，从而能够切实地检测出仅一层隔膜层断裂的时刻。

(三)有益效果

根据本发明的隔膜阀，由于尚未发生流体泄漏的状态的一层隔膜层断裂的状态被检测出，因此能够在流体泄漏发生之前检测出隔膜的损伤。

附图说明

图1为表示本发明的隔膜阀的一个实施方式的剖面图。

图2为表示隔膜结构的分解立体图。

图3为表示最上层的隔膜层的俯视图。

图4为示意性表示隔膜层结构的一个实施方式的剖面图。

附图标记说明

(1)：隔膜阀；(2)：阀体；(2a)：流体流入通路；(2b)：流体流出通路；(2c)：凹处；(5)：隔膜；(21)(22)：隔膜层；(23)：最上层的隔膜层；(24)：配线；(25)：绝缘层；(26)：保护层。

具体实施方式

参照以下附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明中，上下是指图1的上下。