[发明专利]触摸面板传感器用布线膜和触摸面板传感器

说明书

技术领域

本发明涉及与透明导电膜连接的触摸面板传感器用布线膜和触摸面板传感器。

背景技术

触摸面板传感器一般含有形成于输入区域的透明电极，和位于输入区域的侧部(非输入区域)并与该透明电极电连接的布线部(例如参照专利文献1)。布线部主要是由布线膜构成，布线膜由Cu、Al、Ag等金属材料形成于构成透明电极的透明导电膜之上，电阻小的Cu尤其通用。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开2012-43298号公报

发明要解决的课题

通常，在触摸面板传感器的制造过程中，实施低于200℃的低加热处理，但有在大气气氛中实施200℃以上(例如，约230℃左右)的加热处理的情况。若对于Cu布线材料在大气气氛下，以上述的较高温度进行加热处理，则Cu与氧容易反应，茶褐色半透明的Cu氧化物形成于表面，布线膜变色。布线材料的缺陷通常以光学的方法进行检测，若像上述这样布线膜发生变色，则会被作为缺陷检测出来，成为制造成品率降低的原因。

发明内容

本发明鉴于上述情况而形成，其目的在于，提供一种在与透明导电膜连接的触摸面板传感器用Cu布线膜中当然具有低电阻，而且即使在大气气氛中进行大约200℃以上的加热处理时，表面也不会变色的新颖的布线膜，以及使用了它的触摸面板传感器。

用于解决课题的手段

能够达成上述课题的本发明的触摸面板传感器用布线膜所具有的要旨在于，在与透明导电膜连接的触摸面板传感器用的布线膜中，所述布线膜由如下第一层和第二层的层叠结构构成：所述第一层形成于透明导电膜之上，为由纯Cu或以Cu为主成分的Cu合金构成的低电阻的层；所述第二层形成于所述第一层之上，为由纯Al或在10原子％以下的范围内含有从Ta、Nd和Ti所构成的组中选择的至少一种元素的Al合金构成的层。

在本发明的优选的实施方式中，所述第二层由在10原子％以下的范围内含有从Ta、Nd和Ti所构成的组中选择的至少一种元素的Al合金构成。

在本发明的优选的实施方式中，构成所述第一层的Cu合金含有从Ni、Zn和Mn所构成的组中选择的至少一种元素。

在本发明中，也包括具备上述任意一项所述的触摸面板传感器用布线膜的触摸面板传感器。

发明效果

本发明的触摸面板传感器用布线膜，具有在低电阻的Cu布线材料之上形成有纯Al或规定的Al合金的层叠结构，因此能够一边维持布线膜所要求的低电阻，同时即使在大气气氛中曝露在大约200℃以上的热过程时，也能够防止上述布线膜表面的变色。其结果是，即使用通常的光学的方法对于上述布线膜进行检测，也不会确认到该布线膜的缺陷，上述布线膜制造成品率提高。

根据本发明，能够提供在触摸面板传感器中，即使进行通常不被采用的、在大气气氛中的较高温的加热处理之后，也能够防止表面的变色的触摸面板传感器用Cu合金布线膜，和使用了该布线膜的触摸面板传感器。

附图说明

图1是示意性地表示具备本发明的布线膜的触摸面板传感器的构成的一部分的剖面图。

图2是表1的No.3(比较例)的截面TEM照片。

具体实施方式

本发明人等，在与透明导电膜直接连接的触摸面板传感器用布线膜中，为了提供一种既维持着Cu布线膜带来的低电阻，同时即使在大气气氛中曝露在大约200℃以上的热过程时，也可以防止该Cu布线膜表面的变色的新颖的布线膜，而反复研究。其结果发现，如果使用如下层叠结构的布线膜，即，在由纯Cu或以Cu为主成分的Cu合金所构成的低电阻层(第一层)之上，配置纯Al；或在0.1～10原子％的范围内含有从Ta、Nd和Ti所构成的组中选择的至少一种元素的Al合金(第二层)，则可达成预期的目的，从而完成了本发明。

在本说明书中所谓“在大气气氛中进行200℃以上的加热处理”，是加热温度大致200～300℃，加热时间大致30分～1小时的意思。上述的加热处理，是关于形成第一层和第二层之后的热过程。

另外，在本说明书中所谓“即使在大气气氛中曝露在200℃以上的热过程时，也能够防止Cu布线膜表面的变色”，意思是以后述的实施例所述的方法，在大气气氛下，以230℃进行1小时的加热处理，测量加热处理前后的布线膜的反射率时，反射率的变化率为50％以下。

另外在本说明书中所谓“电阻低”，意思是通过后述的实施例所述的方法，测量上述加热处理前的布线膜(第一层+第二层的层叠膜)的电阻时，电阻为200mΩ/□以下。