[发明专利]发热量控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及对发热体的发热量进行控制的发热量控制装置。

背景技术

现有的发热量控制装置检测发热体的温度，并基于检测出的温度来控制发热体的发热量(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开平11－353034号公报

然而，在欲使所层叠的多个发热体各自的内部热量(内部温度)一致的情况下，如上述的现有技术那样，一般在各发热体安装温度传感器，检测各发热体的表面温度，并以使各检测温度变得相同的方式控制各发热体的发热量。

但是，根据各发热体的配置场所等，各发热体收到外部的影响不同。例如，在层叠了至少三个发热体的情况下，所层叠的多个发热体中的位于外侧的发热体容易受到外部温度的影响，因此向外部的散热量增多，表面温度降低。另一方面，位于内侧的发热体因相邻的发热体而成为隔热状态，因此向外部的散热量减少，表面温度增高。另外，在层叠了两个发热体的情况下，因各发热体的周围温度或各发热体向外部的露出面积不同等，各发热体的散热量不同。

因此，会产生如下问题，即：即便以使各发热体的表面温度变得相同的方式而基于各发热体的检测出的表面温度来对各发热体的发热量进行调整，也无法使各发热体的内部热量(内部温度)形成为相同。此外，该问题在层叠了至少三个发热体的情况下特别显著。如上所述，这是因为在位于内侧的发热体与位于外侧的发热体向外部的散热量不同，各发热体的内部热量容易变得不均匀。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而产生的，其目的在于提供一种能够高精度地执行发热体彼此的内部热量(内部温度)的均匀化控制的发热量控制装置。

为了实现上述目的，在技术方案1、2所述的发明中，特征在于，具备：热通量传感器(10)，其配置于邻接的第1、第2发热体之间；以及控制部(20)，其对第1、第2发热体中的至少一方的发热量进行控制，并特征如下。即，特征在于，热通量传感器具有如下结构，即：在由热塑性树脂构成的绝缘基材(100)形成有沿厚度方向贯通的多个第1、第2通孔(101、102)，并且在第1、第2通孔埋入有由相互不同的金属形成的第1、第2层间连接部件(130、140)，第1、第2层间连接部件交替串联连接，

并且，热通量传感器在绝缘基材的表面(100a)配置有表面保护部件(110)，该表面保护部件(110)形成有表面图案(111)，并且在与表面相反一侧的背面(100b)配置有背面保护部件(120)，该背面保护部件(120)形成有背面图案(121)，背面保护部件、绝缘基材、以及表面保护部件形成为一体化，交替串联连接的上述第1、第2层间连接部件产生与上述第1、第2发热体之间的热通量相对应的电动势，控制部基于由热通量传感器产生的电动势，以使第1、第2发热体之间的热通量成为规定值以下的方式来控制发热量。

在技术方案2所述的发明中，特征在于，热通量传感器具有如下构造，即：在由热塑性树脂构成的绝缘基材(100)形成有沿厚度方向贯通的多个第1、第2通孔(101、102)，并且在第1、第2通孔埋入有由相互不同的金属形成的第1、第2层间连接部件(130、140)，第1、第2层间连接部件交替串联连接，形成第1、第2层间连接部件的金属的至少一方是在多个金属原子维持该金属原子的结晶构造的状态下进行了烧结的烧结合金，交替串联连接的第1、第2层间连接部件产生与第1、第2发热体之间的热通量相对应的电动势，

控制部基于由热通量传感器产生的电动势，以使第1、第2发热体之间的热通量成为规定值以下的方式控制发热量。

并且，在技术方案3所述的发明中，特征在于，具备：热通量传感器(10)，其配置于邻接的第1、第2发热体之间；温度传感器(11)，其设置于第1、第2发热体中的一方的发热体，检测一方的发热体的表面温度；以及控制部(20)，其对第1、第2发热体的发热量进行控制，

热通量传感器具有如下构造，即：在由热塑性树脂构成的绝缘基材(100)形成有沿厚度方向贯通的多个第1、第2通孔(101、102)，并且在第1、第2通孔埋入有由相互不同的金属形成的第1、第2层间连接部件(130、140)，第1、第2层间连接部件交替串联连接，交替串联连接的第1、第2层间连接部件产生与第1、第2发热体之间的热通量相对应的电动势，

控制部以使温度传感器检测出的温度与目标温度之差成为规定值以下的方式对一方的发热体的发热量进行控制，并且基于由热通量传感器产生的电动势，以使第1、第2发热体之间的热通量成为规定值以下的方式对第1、第2发热体中的另一方的发热体的发热量进行控制。