[发明专利]离子植入机与控制其中离子束的系统

权利要求书

1.一种在离子植入机中控制离子束的系统，包括：

检测器，用于沿着垂直于所述离子束的传播方向的第一方向进行所述离子束的多个束电流量测；

分析组件，用于基于所述多个束电流量测来判定束电流轮廓，所述束电流轮廓包括沿着所述第一方向的束电流的变化；以及

调整组件，用于在所述束电流轮廓指示束高度低于阀时，沿着所述第一方向调整所述离子束的高度。

2.根据权利要求1所述的在离子植入机中控制离子束的系统，其中所述检测器包括多像素检测器，所述多像素检测器经设置以同时记录沿着所述第一方向的各自不同点的所述多个束电流量测。

3.根据权利要求1所述的在离子植入机中控制离子束的系统，其中所述分析组件经设置以判定所述束电流轮廓的斜率是否超过表示为过量束电流密度的斜率阀。

4.根据权利要求3所述的在离子植入机中控制离子束的系统，其中所述调整组件经设置以将受到判定时的所述离子束散焦。

5.根据权利要求3所述的在离子植入机中控制离子束的系统，其中在预定次数的束调整循环后，当判定热点存在时，所述分析组件经设置以终止离子植入制程，其中各束调整循环包括判定束高度低于束高度阀，且基于经判定的所述束高度来传送信号以调整所述离子植入机的参数。

6.根据权利要求1所述的在离子植入机中控制离子束的系统，还包括基板扫描器，以沿着所述第一方向扫描暴露于所述离子束的基板，其中所述分析组件经设置以基于所述基板扫描器的扫描速率与步阶大小来判定所述阀。

7.一种离子植入机，包括：

离子源，用于产生离子束；

检测器，用于沿着垂直于所述离子束的传播方向的第一方向来进行所述离子束的多个离子束电流量测；

控制器，包括至少一电脑可读取存储媒体，其包括指令，是当执行时使所述控制器进行：

基于所述多个离子束电流量测来判定束电流轮廓，所述束电流轮廓包括沿着所述第一方向的离子束电流的变化；

基于所述束电流轮廓来沿着所述第一方向计算束高度；以及

当计算的所述束高度低于阀时，传送指令以进行参数调整来增加沿着所述第一方向的所述束高度。

8.根据权利要求7所述的离子植入机，其中所述检测器包括多像素检测器，经设置以同时记录沿着所述第一方向的各自不同点的多个束电流量测。

9.根据权利要求7所述的离子植入机，其中所述至少一电脑可读取存储媒体包括指令，是在执行时使所述控制器基于所述束电流轮廓来确定离子束中热点的存在。

10.根据权利要求9所述的离子植入机，其中所述至少一电脑可读取存储媒体包括指令，是在执行时当确定有热点时，使所述控制器传送信号以将所述离子束散焦。

11.根据权利要求9所述的离子植入机，其中所述至少一电脑可读取存储媒体包括指令，是在执行时在预定次数的束调整循环之后，当确定热点存在时，使所述控制器终止离子植入制程，其中各束调整循环包括判定束高度低于束高度阀，且基于经判定的所述束高度来传送信号以调整所述离子植入机的参数。

12.根据权利要求9所述的离子植入机，还包括基板扫描器，用于沿着所述第一方向扫描暴露于所述离子束的基板，其中所述至少一电脑可读取存储媒体包括指令，是在执行时使所述控制器基于所述基板扫描器的扫描速率与步阶大小来判定所述阀。

13.一种离子植入机，包括：

检测器，用于沿着垂直于所述离子束的传播方向的第一方向来进行所述离子束的多个离子束电流量测；

控制器，包括至少一电脑可读取存储媒体，其包括指令，是当执行时使所述控制器进行：

基于所述多个离子束电流量测来判定束电流轮廓，所述束电流轮廓包括沿着所述第一方向的离子束电流的变化；

基于所述束电流轮廓来计算离子电流梯度，所述离子电流梯度包括以沿着所述第一方向以位置为函数的离子电流的改变；以及

当所述离子电流梯度超过阀时，传送指令以进行束调整，所述束调整包括动态地调整所述离子植入机的参数。

14.根据权利要求13所述的离子植入机，其中所述检测器包括多像素检测器，所述多像素检测器经设置以同时记录沿着所述第一方向的各自不同点的多个束电流量测。

15.根据权利要求13所述的离子植入机，其中所述至少一电脑可读取存储媒体包括指令，是在执行时，在所述离子电流梯度超过阀时，使得所述控制器传送信号以将所述离子束散焦。