[发明专利]用于改善边缘一致性的腔室气体扩散器孔设计

权利要求书

1.一种用于沉积腔室的扩散器，所述扩散器包括：

板，所述板具有数个边缘区域、数个角落区域；以及

多个气体通道，所述多个气体通道形成在所述板的上游侧与下游侧之间，其中，所述边缘区域和所述角落区域中的一者或两者中的所述多个气体通道的部分包括第一孔洞和第二孔洞，所述第一孔洞具有第一直径，所述第二孔洞具有第二直径，并且其余的多个孔洞包括第三直径，所述第一直径大于所述第二直径，并且大于所述第三直径。

2.如权利要求1所述的扩散器，其中，所述第一直径比所述第三直径大30％。

3.如权利要求1所述的扩散器，其中，所述其余的多个孔洞包括第四直径，所述第四直径小于所述第三直径。

4.如权利要求3所述的扩散器，其中，所述第二直径与所述第三直径基本上相同。

5.如权利要求3所述的扩散器，其中，所述第一直径比所述第四直径大30％。

6.如权利要求5所述的扩散器，其中，所述第二直径与所述第三直径基本上相同。

7.如权利要求6所述的扩散器，其中，所述第二直径和所述第三直径都比所述第四直径大20％。

8.如权利要求7所述的扩散器，其中，所述第一直径比所述第四直径大30％。

9.如权利要求1所述的扩散器，其中，在所述角落区域中的所述多个气体通道的部分包括孔洞群集，所述孔洞群集具有所述第一直径。

10.如权利要求1所述的扩散器，其中，在所述边缘区域中的所述多个气体通道的部分包括一个或多个第一行的第一孔洞以及一个或多个第二行的第二孔洞，所述一个或多个第二行的第二孔洞关于所述一个或多个第一行的第一孔洞向内地定位。

11.一种用于沉积腔室的扩散器，包括：

板，具有与第二主要边缘区域相对的第一主要边缘区域；

次要边缘区域，与所述第一主要边缘区域和所述第二主要边缘区域中的每一个相邻；

角落区域，在所述两个主要边缘区域和所述次要边缘区域的交叉处；以及

多个气体通道，形成在所述板的上游侧与下游侧之间，其中，形成在所述两个主要边缘区域和所述角落区域中的一个或两个中的气体通道包括局部流动梯度结构。

12.如权利要求11所述的扩散器，其中，所述局部流动梯度结构包括第一孔洞和第二孔洞，所述第一孔洞具有第一直径，所述第二孔洞具有第二直径，并且多个其余的孔洞包括第三直径，所述第一直径大于所述第二直径，并且大于所述第三直径。

13.如权利要求12所述的扩散器，其中，所述第一直径比所述第三直径大30％。

14.如权利要求12所述的扩散器，其中，所述其余的多个孔洞包括第四直径，所述第四直径小于所述第三直径。

15.如权利要求14所述的扩散器，其中，所述第二直径与所述第三直径基本上相同。

16.如权利要求14所述的扩散器，其中，所述第一直径比所述第四直径大30％。

17.如权利要求16所述的扩散器，其中，所述第二直径与所述第三直径基本上相同。

18.如权利要求17所述的扩散器，其中，所述第二直径和所述第三直径都比所述第四直径大20％。

19.如权利要求18所述的扩散器，其中，所述第一直径比所述第四直径大30％。

20.如权利要求12所述的扩散器，其中，在所述角落区域中的所述多个气体通道的部分包括孔洞群集，所述孔洞群集具有所述第一直径。

21.如权利要求12所述的扩散器，其中，在所述边缘区域中的所述多个气体通道的部分包括一个或多个第一行的第一孔洞以及一个或多个第二行的第二孔洞，所述一个或多个第二行的第二孔洞关于所述一个或多个第一行的第一孔洞向内地定位。