[发明专利]束流传输系统和方法

权利要求书

1.一种束流传输系统，其包括离子源和引出装置，其特征在于，该引出装置用于从该离子源中引出会聚的束流，该束流传输系统还包括：一质量分析磁铁、一发散元件、一准直元件和设置于该准直元件下游的一变速转弯元件，该质量分析磁铁包括一入口和一出口，其中该质量分析磁铁的分析面与束流引出的会聚平面垂直，

该质量分析磁铁用于在该分析面中偏转束流以使束流中不同质荷比的离子束在该分析面中形成不同的轨迹，其中束流在进入入口后在与分析面垂直的面中会聚于一会聚点处，再自该会聚点处发散并自出口传输至该发散元件；

该发散元件用于在竖直平面内发散束流以使得束流在该竖直平面内发散至一预设宽度并将发散的束流传输至该准直元件，该竖直平面垂直于该分析面、且平行于该质量分析磁铁的出口处的束流的传输方向；

该准直元件用于在束流的传输平面中平行化束流；

该变速转弯元件用于在偏转束流以使束流的传输方向改变第一预设角度的同时使束流变速以达到目标能量。

2.如权利要求1所述的束流传输系统，其特征在于，该束流传输系统还包括设置于该准直元件和该变速转弯元件之间的一转弯元件，该转弯元件用于偏转束流以使束流的传输方向改变第二预设角度。

3.如权利要求1所述的束流传输系统，其特征在于，该发散元件为线性四极磁铁。

4.如权利要求1-3中任意一项所述的束流传输系统，其特征在于，该准直元件还用于偏转束流以使束流的传输方向改变第三预设角度。

5.如权利要求1-3中任意一项所述的束流传输系统，其特征在于，该预设宽度为450mm-750mm。

6.一种束流传输方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1、从离子源中引出会聚的束流，使该束流进入一质量分析磁铁中，该质量分析磁铁包括一入口和一出口，其中该质量分析磁铁的分析面与束流引出的会聚平面垂直；

步骤S2、该质量分析磁铁在该分析面中偏转束流以使束流中不同质荷比的离子束在该分析面中形成不同的轨迹，其中束流在进入入口后在与分析面垂直的面中会聚于一会聚点处，再自该会聚点处发散并自出口传输至发散元件；

步骤S3、在竖直平面内发散束流以使得束流在该竖直平面内发散至一预设宽度，该竖直平面垂直于该分析面、且平行于该质量分析磁铁的出口处的束流的传输方向；

步骤S4、在束流的传输平面中平行化束流；

步骤S5、在偏转束流以使束流的传输方向改变第一预设角度的同时使束流变速以达到目标能量。

7.如权利要求6所述的束流传输方法，其特征在于，步骤S4和步骤S5之间还包括以下步骤：偏转束流以使束流的传输方向改变第二预设角度。

8.如权利要求6所述的束流传输方法，其特征在于，步骤S3中在竖直平面内发散束流的同时还使得束流在该分析面中聚焦。

9.如权利要求6-8中任意一项所述的束流传输方法，其特征在于，步骤S4中还包括以下步骤：偏转束流以使束流的传输方向改变第三预设角度。

10.如权利要求6-8中任意一项所述的束流传输方法，其特征在于，该预设宽度为450mm-750mm。