[发明专利]适应于间接冷却装置的具有冷却板的靶有效
| 申请号： | 201480033082.8 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105283577B | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 徳尼斯·库拉珀夫;西格弗里德·克拉斯尼策尔 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 瑞士普*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 适应 间接 冷却 装置 具有 | ||
1.一种靶(801)冷却装置，其具有：
组成部分(805)，其包括冷却通道(807)；和
另一个导热板(803)，所述另一个导热板可分离地与所述组成部分的冷侧相连，
其中，所述冷侧是所述冷却通道施展其作用的一侧，
其特征是，
在所述另一个导热板(803)与所述组成部分的冷侧之间设有第一自粘碳膜(811)，所述第一自粘碳膜(811)大面积自粘附到所述另一个导热板(803)的朝向所述冷侧的一侧面上，并且所述组成部分的将所述冷却通道与所述碳膜分隔开的壁是以软膜形式构成的。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征是，该自粘碳膜的厚度在0.125mm到小于0.5mm之间。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征是，该靶的外周与靶源支座采取卡口连接形式相互配合，由此实现均匀的高压紧力，在该靶源支座中集成有包括该冷却通道的间接冷却装置。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征是，所述另一个导热板(803)是铜板或钼板。
5.根据前述权利要求之一所述的装置，其特征是，所述另一个导热板(803)的厚度为至少3毫米。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征是，所述另一个导热板(803)的厚度为至少5毫米。
7.根据权利要求5所述的装置，其特征是，所述另一个导热板(803)的厚度为至少1厘米。
8.一种靶，其具有根据前述权利要求之一所述的冷却装置，其特征是，该靶(801)被构成为材料源，用于溅射法和/或用于电火花气化法。
9.根据权利要求8所述的靶，其特征是，该靶的厚度在6mm到18mm之间。
10.根据权利要求8或权利要求9所述的靶，其特征是，该自粘碳膜的厚度在0.125mm到小于0.5mm之间。
11.一种涂覆源，其包括靶，所述靶具有根据前述权利要求之一所述的装置。
12.根据权利要求11所述的涂覆源，其特征是，该靶的外周与靶源支座采取卡口连接形式相互配合，由此实现均匀的高压紧力。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔，未经欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
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