[发明专利]二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构

说明书

一种二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构(H)包括：保持构件，该保持构件附接到底座部分(14)并且保持伸长支撑构件(12)；和伸长支撑构件(12)，该伸长支撑构件(12)被保持构件(13)保持，用于将伸长形状的二硅化钼基陶瓷加热元件(11)在伸长支撑构件(12)的长轴线方向上间隔地安装，其中，安装在伸长支撑构件(12)上的伸长二硅化钼基陶瓷加热元件(11)能够在不破坏加热元件保持结构的情况下被更换。设置多个伸长支撑构件(12)，并且蜿蜒形状的伸长二硅化钼基陶瓷加热元件(11)的U形部分能够在由底座部分(14)、多个伸长支撑构件(12)和保持该多个伸长支撑构件的保持构件(13)限定的空间内从单轴方向插入和拔出，或者伸长支撑构件(12)被保持构件(13)可拆卸地保持，使得伸长支撑构件(12)能够从保持构件(13)移除。

技术领域

本发明涉及一种用于二硅化钼(MoSi₂)基陶瓷加热元件的保持结构。

背景技术

MoSi₂基陶瓷加热元件用在半导体装置和用于玻璃等的加工装置中，因为与金属加热元件和其它陶瓷加热元件比较，MoSi₂基陶瓷加热元件耐热性极佳。MoSi₂基陶瓷加热元件能够被加热至1600至2000℃的高温，并且能够实现高达约20W/cm²的高表面功率密度。

因为MoSi₂基陶瓷加热元件缺乏强度并且在高温下软化，因此伸长形状的MoSi₂基陶瓷加热元件不能够被其单独一端自由地保持。MoSi₂基陶瓷加热元件需要在诸如绝热材料的衬底上以预定间隔保持。

在MoSi₂基陶瓷加热元件面朝下保持在加热炉中的顶板侧上的情况下，如图1所示，使用U形销钉(3)将MoSi₂基陶瓷加热元件(1)附接到绝热材料(2)上的结构是公知的。通过使绝热材料(2)成为陶瓷纤维板单元，使用这个单元能够容易地构造加热炉，其中MoSi₂基陶瓷加热元件(1)附接到绝热材料(2)。在加热元件附接结构中，因为MoSi₂基陶瓷加热元件借助许多钉附着地固定到绝热材料上，所以当加热元件变得退化或损坏时，难以单独地更换加热元件。然而，在图1中示出的结构中，与MoSi₂基陶瓷加热元件附接的陶瓷纤维板单元能够被替换为单元。可替换地，虽然不是不可能破坏所有的钉、对孔进行修理和重新附接钉，但是这需要劳动，而且多次更换实际上是不可能的。

发明内容

在图1中示出的传统技术中，由于MoSi₂基陶瓷加热元件的附接结构，难以单独更换MoSi₂基陶瓷加热元件。如果加热元件能够被单独更换，从成本和劳动的角度看，这是期望的。而且，如果MoSi₂基陶瓷加热元件借助许多钉固定，其包含加工这些钉的负担和大成本。而且，这样加热元件单元是不方便的，这在于，当加热至高温时，难以更换，因为加热炉的操作需要停止，以更换加热元件单元。而且，如果加热元件借助许多钉固定，由于在加热的同时加热器的膨胀和收缩，因此存在损坏的风险。

鉴于传统技术的上述问题，本发明的目的是使能够独立地更换MoSi₂基陶瓷加热元件作为加热元件，以能够在加热的同时更换，并且通过提高加热器的固定点的移动自由度来减少损坏的风险。

实现以上目的的本发明在于(resides in)如下几点：

(1)二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，包括：

一个或多个伸长支撑构件，该一个或多个伸长支撑构件用于通过将伸长形状的二硅化钼基陶瓷加热元件安装在沿着伸长支撑构件的长轴线方向的多个位置处，来支撑伸长形状的二硅化钼基陶瓷加热元件，以及

多个第一保持构件，该多个第一保持构件用于将每个伸长支撑构件保持在每个伸长支撑构件的长轴线方向的两个或多个位置处，其中，