[发明专利]含硼水的处理方法和装置

权利要求书

1.一种含硼水的处理方法，其是使用于超纯水制造系统的初级纯水系统或回收系统的含硼水的处理方法，其中，

将硼浓度10～100μg/L的含硼水向高压型逆渗透膜装置通水后，将在该高压型逆渗透膜装置中除去硼的硼浓度为0.5～8μg/L的透过水在再生型离子交换装置中进行处理得到硼浓度<1ng/L的处理水后，采用非再生型离子交换装置进行处理，

向所述高压型逆渗透膜装置的供水的pH是5～8。

2.如权利要求1所述的含硼水的处理方法，其中，所述再生型离子交换装置为下述a)～e)中任一种再生型离子交换装置：

a)填充了强碱性阴离子交换树脂的单床单塔式再生型离子交换装置；

b)将填充有强酸性阳离子交换树脂的阳离子交换树脂塔和填充有强碱性阴离子交换树脂的阴离子交换树脂，进行串联连接的2床2塔式再生型离子交换装置；

c)将强酸性阳离子交换树脂和强碱性阴离子交换树脂，在一个离子交换树脂塔内，分别配置为各不相同的层的2床1塔式再生型离子交换装置；

d)将强酸性阳离子交换树脂和强碱性阴离子交换树脂均匀地混合并填充至同一塔内的混床型的再生型离子交换装置；

e)将一段或多段的电力再生式脱离子装置进行串联连接的再生型离子交换装置。

3.如权利要求1或2所述的含硼水的处理方法，其中，将含硼水进行凝集处理和过滤处理之后，向所述高压型逆渗透膜装置通水。

4.一种含硼水的处理装置，其是使用于超纯水制造系统的初级纯水系统或回收系统的含硼水的处理装置，包括：

高压型逆渗透膜装置，将硼浓度10～100μg/L的含硼水供给于该高压型逆渗透膜装置，

再生型离子交换装置，将在该高压型逆渗透膜装置中除去硼的硼浓度为0.5～8μg/L的透过水通水于该再生型离子交换装置，以及

非再生型离子交换装置，将来自该再生型离子交换装置的硼浓度<1ng/L的处理水通水于该非再生型离子交换装置；

向所述高压型逆渗透膜装置的供水的pH是5～8。

5.如权利要求4所述的含硼水的处理装置，其中，所述再生型离子交换装置是下述a)～e)中任一种再生型离子交换装置：

a)填充了强碱性阴离子交换树脂的单床单塔式再生型离子交换装置；

b)将填充有强酸性阳离子交换树脂的阳离子交换树脂塔和填充有强碱性阴离子交换树脂的阴离子交换树脂，进行串联连接的2床2塔式再生型离子交换装置；

c)将强酸性阳离子交换树脂和强碱性阴离子交换树脂，在一个离子交换树脂塔内，分别配置为各不相同的层的2床1塔式再生型离子交换装置；

d)将强酸性阳离子交换树脂和强碱性阴离子交换树脂均匀地混合并填充至同一塔内的混床型的再生型离子交换装置；

e)将一段或多段的电力再生式脱离子装置进行串联连接的再生型离子交换装置。

6.如权利要求4或5所述的含硼水的处理装置，其中，在所述高压型逆渗透膜装置的前段，设置了凝集处理装置和过滤装置。