[发明专利]片构件搬运装置、片构件检查装置以及片构件搬运方法有效
申请号: | 201480034577.2 | 申请日: | 2014-07-25 |
公开(公告)号: | CN105339289B | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
发明(设计)人: | 木下清贵;野田隆行;藤居孝英;山本正善 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06;B65H5/08;C03B35/00;H01L21/683 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 刘影娜 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 构件 搬运 装置 支承 检查 以及 方法 | ||
1.一种片构件搬运装置,其中,将沿着一个边部相互分离排列的多个支承单元设为一组支承单元组,由两组支承单元组对纵姿态的片构件的对置的一对边部进行支承,沿着所述边部的长度方向搬运所述片构件,所述片构件搬运装置的特征在于,
所述两组支承单元组在对所述片构件的一对边部进行支承的状态下,使沿着将两边部连结的方向作用的第一方向拉力作用于该片构件的一对边部的彼此之间,并且,
各所述支承单元组使沿着所述边部的长度方向作用的第二方向拉力作用于多个支承单元中的至少如下两个支承单元的彼此之间,即,处于对所述片构件的一个边部的一端部进行支承的状态的支承单元、与处于对另一端部进行支承的状态的支承单元的彼此之间,
所述第一方向拉力的大小与所述第二方向拉力的大小能够独立地调节。
2.根据权利要求1所述的片构件搬运装置,其特征在于,
各所述支承单元组的多个支承单元所支承的位置以一个边部的中央部为基准而对称,并且,
一侧的支承单元组中的支承单元与另一侧的支承单元组中的支承单元对所述一对边部的长度方向的相同位置进行支承。
3.根据权利要求1或2所述的片构件搬运装置,其特征在于,
各所述支承单元组以一个边部的中央部为基准而使所述第二方向拉力作用于全部的相邻的支承单元的彼此之间。
4.一种片构件检查装置,其特征在于,
通过配置在片构件的搬运路径上的缺陷检查单元来检查由权利要求1至3中任一项所述的片构件搬运装置搬运的所述片构件中是否含有缺陷。
5.根据权利要求4所述的片构件检查装置,其特征在于,
所述缺陷检查单元对所述片构件的有效面进行扫描而检查,并且,
各所述支承单元组根据所述片构件的检查部位来改变作用于沿着一个边部相邻的支承单元的彼此之间的所述第二方向拉力的大小。
6.根据权利要求4或5所述的片构件检查装置,其特征在于,
在所述片构件搬运装置搬运该片构件的同时,所述缺陷检查单元对所述片构件的有效面的整个区域进行检查。
7.根据权利要求6所述的片构件检查装置,其特征在于,
当对所述片构件的搬运方向的前方侧端部至中央部的范围进行检查时,随着检查部位从所述搬运方向的前方侧端部向中央部转移,各所述支承单元组使作用于一个边部的相邻的支承单元的彼此之间的所述第二方向拉力逐渐增大,并且,
当对所述片构件的搬运方向的中央部至后方侧端部的范围进行检查时,随着检查部位从所述搬运方向的中央部向后方侧端部转移,各所述支承单元组使作用于一个边部的相邻的支承单元的彼此之间的所述第二方向拉力逐渐减小。
8.一种片构件搬运方法,其中,将沿着一个边部相互分离排列的多个支承单元设为一组支承单元组,由两组支承单元组对纵姿态的片构件的对置的一对边部进行支承,沿着所述边部的长度方向搬运所述片构件,所述片构件搬运方法的特征在于,
在所述片构件的搬运时,所述两组支承单元组在对所述片构件的一对边部进行支承的状态下,使沿着将两边部连结的方向作用的第一方向拉力作用于该片构件的一对边部的彼此之间,并且,
各所述支承单元组使沿着所述边部的长度方向作用的第二方向拉力作用于多个支承单元中的至少如下两个支承单元的彼此之间,即,处于对所述片构件的一个边部的一端部进行支承的状态的支承单元、与处于对另一端部进行支承的状态的支承单元的彼此之间,
独立地调节所述第一方向拉力的大小与所述第二方向拉力的大小。
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