[发明专利]n型有机半导体薄膜的制造方法有效
申请号: | 201480034764.0 | 申请日: | 2014-06-17 |
公开(公告)号: | CN105308729B | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 大谷直树 | 申请(专利权)人: | 日产化学工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/368 | 分类号: | H01L21/368;B05D7/24;B32B9/00;C07H15/203;H01L51/46 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 王永红 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机半导体 薄膜 制造 方法 | ||
1.n型有机半导体薄膜的制造方法,其特征在于,将含有式(1)所示的富勒烯衍生物的溶液在基材涂布、在450℃以上进行烧成,
式中,R1~R5分别独立地表示氢原子、糖基、或糖基的任意羟基被取代基取代的糖基即取代糖基,R6表示碳原子数1~5的烷基,其中,R1~R5中的至少1个为所述糖基或取代糖基。
2.根据权利要求1所述的n型有机半导体薄膜的制造方法,其中,所述糖基或取代糖基为选自式(2)、式(3)及式(4)中的至少1个基团,
式中,R7~R15分别独立表示氢原子、氨基、硫醇基、羧基、磷酸基、磷酸酯基、酯基、硫酯基、酰胺基、硝基、一价烃基、有机氨基、有机甲硅烷基、有机硫基、酰基、烷基醚基、或磺基。
3.根据权利要求1或2所述的n型有机半导体薄膜的制造方法,其中,所述取代基为碳原子数1~10的烷基、苄基、对甲氧基苄基、甲氧基甲基、2-四氢吡喃基、乙氧基乙基、乙酰基、新戊酰基、苯甲酰基、三甲基甲硅烷基、三乙基甲硅烷基、叔丁基二甲基甲硅烷基、三异丙基甲硅烷基、或叔丁基二苯基甲硅烷基。
4.n型有机半导体薄膜,其通过权利要求1~3中任一项所述的制造方法得到。
5.根据权利要求4所述的n型有机半导体薄膜,其算术平均粗糙度Ra为膜厚的2%以上,最大高度Rz为膜厚的40%以上,电离电势为6.0eV以上。
6.有机太阳能电池,其具有权利要求4或5所述的n型有机半导体薄膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造