[发明专利]一种涂布的电晕电离源的方法与设备

说明书

一种电晕电离源组合及制作方法被描述为包括含有第一材料的线材芯的细线材，和含有第二材料的线材涂层，其中所述线材涂层包裹了部分所述线材芯，且所述线材涂层的直径大于所述线材芯的直径。此外，所述细线材可以耦合到标杆上。在实施方式中，采用本发明公开的技术制作电晕电离源组合的方法包括：形成线材芯，形成包裹所述线材芯的线材涂层，至少部分所述线材涂层上形成遮罩层，蚀刻所述线材涂层，和从所述线材涂层去除所述遮罩层。

相关申请的参考

本申请要求2013年6月21日提交的序列号为61/837,785，名称为“一种涂布的电晕电离源的方法与设备”的美国临时专利申请的优先权，其引入本文作为参考。

背景技术

离子迁移率光谱仪(IMS)能够通过电离原料(例如分子，原子等)和测量产生的离子到达检测器所花费的时间从感兴趣的样品识别原料。离子飞行的时间与被电离的分子的质量和几何相关的离子迁移率密切相关。离子迁移率光谱仪在周围环境大气压力下运行并在漂移气体的存在下基于迁移率分离离子。检测器的输出能够直观地表示为例如峰高对漂移时间的等离子体色谱图。

质谱仪(MS)，在真空下运行并基于荷质比分离离子。在利用质谱仪的一些实施方式中，被电离的样品可以是固体、液体或气体。离子在质量分析仪中根据质荷比被分离并由能够检测带电粒子的装置进行检测。来自检测器的信号随后根据质荷比被处理成离子的相对丰度的光谱。原子或分子通过确定质量或通过特有分裂模式由相关已知质量识别。

每个检测系统可以包括样品源、离子源、分析器和检测器。离子源的一些实例可以包括产生带电粒子(离子)的设备，可以包括电喷雾电离、感应耦合等离子体、火花电离、放射源(例如，⁶³Ni)等。

发明内容

电晕电离源组合及制作电晕电离源组合的方法被描述为包括：含有第一材料的线材芯的细线材(fine wire)，和含有第二材料的线材涂层，其中，所述线材涂层包裹了部分所述线材芯，且所述线材涂层的直径大于所述线材芯的直径，以及标杆耦合到所述细线材上。在实施方式中，采用本发明公开的技术制作电晕电离源组合的方法，包括：形成线材芯，形成包裹所述线材芯的线材涂层，在至少部分所述线材涂层上形成遮罩层(mask layer)，蚀刻所述线材涂层，以及从所述线材涂层上去除所述遮罩层。

提供本发明内容用于简要形式地介绍概念的选择，其将进一步在下面的具体实施方式中描述。本概述不是旨在识别所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不是旨在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

附图说明

详细内容将参考附图描述。在图中，首次出现的参考号的最左边的数字识别该图。在说明书不同的举例中和附图中使用相同的参考号可以表示相似或相同的物品。

图1A为根据本发明公开的将电晕电离源组合进行装配以实现细线材的示意图。

图1B为根据本发明公开的将电晕电离源组合进行装配以实现细线材的示意图。

图1C为根据本发明公开的将电晕电离源组合进行装配以实现细线材的示意图。

图1D为根据本发明公开的示例我检测系统的示意图。

图2为在实施例中用于制作电晕电离源组合的方法的流程图，例如图1A到1D所示的设备。

图3A到3D为根据图2所示的方法制得电晕电离源组合的局部横截面侧视图的示意图，例如图1A到1D所示的设备。

具体实施方式

在离子迁移率光谱仪中，光谱仪可以包括样品源、离子源、分析器和检测器。通常使用的一种类型的电离源包括电晕电离源。电晕电离源利用放电导致通电的导体周边流体电离。当导体周边电场的强度(即点位梯度)足够高形成导电区域，但不足够高造成绝缘破坏或附近物体电弧作用时，电晕源将发生放电。