[发明专利]扫描装置有效
申请号: | 201480035425.4 | 申请日: | 2014-06-20 |
公开(公告)号: | CN105324722B | 公开(公告)日: | 2017-08-08 |
发明(设计)人: | 乌尔里希·克鲁格;托马斯·德雷斯勒;斯特凡·海涅曼 | 申请(专利权)人: | 业纳光学系统有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B26/12;G02B27/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人: | 杨靖,车文 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描 装置 | ||
1.一种用于使射线束沿着扫描线成像的扫描装置,所述扫描装置包括:光源,所述光源射出具有轴线射线的射线束;扫描单元,所述扫描单元具有多面镜;以及沿所述轴线射线的方向前置于所述多面镜的前置扫描光学件;和沿所述轴线射线的方向后置于所述多面镜的后置扫描光学件,所述后置扫描光学件具有光学轴线,其中,所述前置扫描光学件前置于所述多面镜,使得所述射线束在交叉扫描平面中以入射角α照射到所述多面镜上,其特征在于,
所述后置扫描光学件的光学轴线沿所述多面镜的反射方向布置,
所述后置扫描光学件以沿所述轴线射线的方向依次布置的方式包括具有至少一个第一修正透镜和第二修正透镜的修正物镜、仅一个柱镜和柱透镜,
所述柱镜在交叉扫描平面中相对于所述多面镜的面法线以第一倾斜角β倾斜,所述第一倾斜角β通过所述入射角α来确定,并且
两个修正透镜中的一个修正透镜相对于所述后置扫描光学件的光学轴线以第二倾斜角γ倾斜并且错开了间距地布置。
2.根据权利要求1所述的扫描装置,其特征在于,所述第一倾斜角β在0.97α<β<1.03α的范围内。
3.根据权利要求1所述的扫描装置,其特征在于,
所述柱镜的物镜侧的焦点布置在所述多面镜内部靠近反射的多面镜小平面,并且所述柱镜在扫描平面中,即与交叉扫描方向垂直布置的平面中具有聚焦作用,从而以仅一个柱透镜满足了远心条件。
4.根据权利要求1所述的扫描装置,其特征在于,
所述射线束通过两个修正透镜中的一个修正透镜以轻微汇聚或发散的方式成形,由此部分地补偿了所述柱镜的固有的像场拱曲,并且使所述柱镜与所述扫描线的距离保持得很小。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于业纳光学系统有限公司,未经业纳光学系统有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201480035425.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:用于计算设备的铰链组件
- 下一篇:EUV成像设备