[发明专利]振动波驱动装置、振动波马达用定子、振动波马达、驱动控制系统、光学设备及振动波驱动装置的制造方法

权利要求书

1.一种振动波驱动装置，包括：

环形压电元件，包括一片式压电材料和被提供成夹住该一片式压电材料的多个电极，该环形压电元件被配置为由波长为λ的行进波振动；及

馈电构件，至少包括用于向环形压电元件供给电力的电气配线，该馈电构件在环形压电元件的第一表面上提供，

其中，环形压电元件包括至少两个驱动区域以及布置在所述至少两个驱动区域中的两个驱动区域之间并且具有nλ/4的平均环形长度的非驱动区域，其中n是奇数，及

其中，在第一表面上提供的至少一个电极跨非驱动区域和所述至少两个驱动区域中的相应一个驱动区域布置，并且只在非驱动区域中电连接到馈电构件。

2.如权利要求1所述的振动波驱动装置，其中，n是1和3中的一个。

3.如权利要求1所述的振动波驱动装置，其中，以下关系被满足，

0≤d(2)<0.1d(1)，

其中d(1)代表所述至少两个驱动区域中的每一个驱动区域的压电常数的绝对值，并且d(2)代表非驱动区域的如下部分的压电常数的绝对值，该部分包括跨所述至少两个驱动区域中的相应一个驱动区域和非驱动区域布置的所述至少一个电极。

4.如权利要求1至3中任一项所述的振动波驱动装置，

其中，非驱动区域包括用于检测振动波驱动装置的振动的检测区域，及

其中，环形压电元件还包括布置在检测区域的第一表面上的检测相电极，该检测相电极电连接到馈电构件。

5.如权利要求1至4中任一项所述的振动波驱动装置，其中，当与第一表面相对的表面是第二表面时，环形压电元件包括布置在非驱动区域的第一表面上的接地电极，该接地电极电连接到第二表面上的电极并且电连接到馈电构件。

6.如权利要求1至5中任一项所述的振动波驱动装置，其中，馈电构件包括柔性印制板。

7.一种振动波马达用定子，至少包括：

如权利要求1至6中任一项所述的振动波驱动装置；及

在环形压电元件的至少一个电极表面上提供的膜片。

8.一种振动波马达，至少包括：

如权利要求7所述的振动波马达用定子；及

与膜片的振动表面接触地提供的转子。

9.一种驱动控制系统，至少包括通过馈电构件的中介而电连接到如权利要求8所述的振动波马达的驱动电路。

10.一种光学设备，包括如权利要求9所述的驱动控制系统。

11.一种制造如权利要求1至6中任一项所述的振动波驱动装置的方法，该方法包括：

在至少两个驱动区域中的每一个驱动区域中的第一表面上提供极化电极，

在非驱动区域中的第一表面上提供驱动相电力供给电极，并且

在第二表面上提供共用电极；

向极化电极施加电压，以便使一片式压电材料经历极化处理；

提供跨极化电极和驱动相电力供给电极的连接电极；及

只在非驱动区域中将驱动相电力供给电极和馈电构件彼此电连接。