[发明专利]薄膜形成方法以及薄膜形成装置

权利要求书

1.一种薄膜形成方法，其特征在于，具有：

沿基板表面的应形成薄膜图案的预定区域的边缘形成脊状的阻挡结构的工序；

形成所述阻挡结构之后，使光固化性的液态的薄膜材料液滴化并着落于所述预定区域内，在多个液滴相互连续而未能保留原形且表面变得平坦的状态的时刻之前，对着落于所述预定区域的薄膜材料照射临时固化用光以使其临时固化，从而形成膜要件的工序；

在所述膜要件之上涂布光固化性的液态的薄膜材料而形成液态膜的工序；及

在所述液态膜的表面变得平坦之后，对所述液态膜以及所述膜要件照射光强度比所述临时固化用光的光强度更强的正式固化用光，以使所述液态膜固化，并且提高所述膜要件的固化度的工序。

2.根据权利要求1所述的薄膜形成方法，其特征在于，

形成所述液态膜的薄膜材料包含染料或颜料。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜形成方法，其特征在于，

在形成所述液态膜的工序中，所述阻挡结构阻挡涂布于所述膜要件上的液态的薄膜材料。

4.根据权利要求1或2所述的薄膜形成方法，其特征在于，

在形成所述液态膜的工序中，通过使薄膜材料液滴化并着落于所述膜要件的表面，从而形成所述液态膜，

在所述液态膜的表面逐渐变得平坦直至反映薄膜材料的液滴形状的凹凸形状消失的程度之后，对所述液态膜照射所述正式固化用光。

5.一种薄膜形成装置，其特征在于，具有：

保持基板的载物台；

多个喷嘴头，具备多个喷嘴孔，该多个喷嘴孔与保持在所述载物台上的所述基板对置，并且朝向所述基板吐出经液滴化的光固化性的液态的薄膜材料；

多个临时固化用光源，对从所述喷嘴头吐出而涂布于所述基板上的所述薄膜材料照射临时固化用光；

移动机构，使包括所述喷嘴头以及所述临时固化用光源的喷嘴单元和所述基板中的一方相对于另一方向与所述基板表面平行的第1方向移动；

正式固化用光源，对所述基板照射正式固化用光；及

控制装置，存储有定义应形成薄膜的图案的图像数据并根据所述图像数据控制所述喷嘴头、所述临时固化用光源以及所述移动机构，

所述控制装置通过控制所述喷嘴头、所述临时固化用光源、所述正式固化用光源以及所述移动机构，进行如下操作：

在使所述临时固化用光源点亮的状态下，使从所述喷嘴头吐出的薄膜材料沿基板表面的应形成薄膜图案的预定区域的边缘着落，并使着落的所述薄膜材料临时固化，由此形成阻挡结构，

形成所述阻挡结构之后，使从所述喷嘴头吐出的所述薄膜材料着落于所述预定区域内，在多个液滴相互连续而未能保留原形且表面变得平坦的状态的时刻之前，对着落于所述预定区域的所述薄膜材料照射临时固化用光以使其临时固化，从而形成膜要件，

将从所述喷嘴头吐出的光固化性的液态的所述薄膜材料涂布于所述膜要件之上，从而形成液态膜，

在所述液态膜的表面变得平坦之后，对所述液态膜以及所述膜要件照射来自所述正式固化用光源的正式固化用光，以使所述液态膜固化，并且提高所述膜要件的固化度。

6.根据权利要求5所述的薄膜形成装置，其特征在于，

从所述喷嘴头吐出的所述薄膜材料包含染料或颜料。

7.根据权利要求5或6所述的薄膜形成装置，其特征在于，

所述阻挡结构具有防止用于形成所述液态膜的液态的所述薄膜材料从所述预定区域的内侧向外侧流出的高度。