[发明专利]具有保护涂层的指纹感测设备

权利要求书

1.一种指纹感测设备，包括：

感测元件的阵列，所述感测元件中的每个感测元件被配置成提供指示所述感测元件与放置在所述指纹感测设备的表面上的手指之间的电磁耦合的信号；

被布置成覆盖所述感测元件的阵列的第一介电层，所述第一介电层在所述第一介电层的顶表面处包括多个凹部，所述凹部以下述方式跨所述感测元件的阵列分布：所述凹部中的相邻凹部之间的间隔小于400μm；以及

在所述凹部中以及所述凹部之间被布置在所述第一介电层的所述顶表面上的顶疏水性层，以提供所述感测设备的所述手指放置在上面的所述表面，使得当所述顶疏水性层通过使用所述指纹感测设备而被磨掉时，疏水性材料仍存在于所述凹部中，在所述凹部中，所述疏水性材料被保护而免受磨损和撕扯。

2.根据权利要求1所述的指纹感测设备，其中，所述第一介电层比所述顶疏水性层更耐磨。

3.根据权利要求1或2所述的指纹感测设备，其中，所述顶疏水性层的厚度小于所述凹部中的每个凹部的最大深度。

4.根据前述权利要求中任一项所述的指纹感测设备，其中，所述凹部中的每个的深度为至少5μm。

5.根据前述权利要求中任一项所述的指纹感测设备，其中，所述凹部中的每个部分地通过所述第一介电层延伸而没有穿透所述第一介电层。

6.根据前述权利要求中任一项所述的指纹感测设备，其中，所述第一介电层的厚度为至少50μm。

7.根据前述权利要求中任一项所述的指纹感测设备，其中，所述凹部中的每个在与所述指纹感测设备的所述手指放置在上面的所述表面平行的平面中具有基本圆形的横截面。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的感测设备，其中，以多个延长的槽的形式设置所述凹部，每个槽至少延伸与所述感测元件中的一个感测元件的边对应的距离。

9.根据前述权利要求中任一项所述的感测设备，其中，所述凹部被布置成与所述感测元件中的相邻感测元件之间的边界对准。

10.根据权利要求9所述的感测设备，其中，所述凹部被设置为跨所述指纹感测设备延伸的连续槽的网格，所述槽与所述感测元件之间的边界对准。

11.根据前述权利要求中任一项所述的感测设备，其中，所述凹部中的每个凹部的最小宽度为至少10μm。

12.根据前述权利要求中任一项所述的感测设备，其中，所述顶疏水性层附加地具有疏油性表面属性。

13.根据前述权利要求中任一项所述的感测设备，其中，所述第二层的厚度小于100nm。

14.一种用于制造指纹感测设备的方法，所述方法包括：

设置衬底，所述衬底在所述衬底的顶表面上包括多个感测元件；

在所述衬底的所述顶表面上设置第一介电层以覆盖所述感测元件；

在所述第一介电层中形成多个凹部，所述凹部以下述方式跨所述感测元件的阵列分布：所述凹部中的相邻凹部之间的间隔小于400μm；以及

在所述凹部中以及所述凹部之间在所述第一层上设置顶疏水性层。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，通过从所述第一介电层去除材料来形成所述凹部。