[发明专利]评估系统和用于评估基板的方法

权利要求书

1.一种评估系统，所述评估系统包括：

固体浸没透镜；

多个空间传感器，所述多个空间传感器中的每一个空间传感器布置成生成空间关系信息，所述空间关系信息指示所述固体浸没透镜与基板之间的空间关系，其中，所述多个空间传感器包括多个原子力显微镜(AFM)；

至少一个位置校正元件；

控制器，所述控制器布置成接收所述空间关系信息，并且将校正信号发送到所述至少一个位置校正元件，以便引入所述固体浸没透镜与所述基板之间的所需的空间关系；以及

支撑结构，所述支撑结构耦接至所述空间传感器、所述固体浸没透镜以及所述至少一个位置校正元件。

2.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，每一个AFM都包括悬臂、尖端、悬臂保持支架、布置成照射所述悬臂的悬臂照明装置、以及布置成感测从所述悬臂偏转的光的检测器。

3.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，所述多个AFM包括至少三个非共线的AFM。

4.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，所述多个AFM包括至少四个非共线的AFM。

5.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，每一个AFM都包括用于使所述悬臂振荡的振荡器。

6.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，每一个AFM都包括超过10纳米的尖端。

7.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，每一个AFM都包括超过50纳米的尖端。

8.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，每一个AFM都包括超过100纳米的尖端。

9.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，所述AFM布置成执行对所述基板的粗略扫描。

10.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，所述AFM布置成在不接触所述基板的情况下来扫描所述基板。

11.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，所述AFM布置成在接触所述基板的同时来扫描所述基板。

12.根据权利要求1所述的评估系统，进一步包括用于校准所述多个AFM模块的校准站。

13.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，所述支撑结构布置成将所述固体浸没透镜置于距所述基板小于100纳米的距离处。

14.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，所述支撑结构布置成将所述固体浸没透镜置于距所述基板小于50纳米的距离处。

15.根据权利要求1所述的评估系统，所述评估系统包括位置校正元件，所述位置校正元件布置成相对于所述固体浸没透镜来提升所述多个空间传感器中的至少一个。

16.根据权利要求1所述的评估系统，进一步包括机械移动模块，所述机械移动模块布置成在所述支撑结构与所述基板之间引入移动。

17.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，所述机械移动模块布置成在所述支撑结构与所述基板之间引入至少50毫米/秒的移动。

18.根据权利要求1所述的评估系统，其特征在于，所述至少一个空间传感器是电容传感器。

19.一种用于评估基板的方法，所述方法包括以下步骤：

由固体浸没透镜扫描基板，同时通过以下步骤来尝试维持所述固体浸没透镜与所述基板之间的所需的空间关系：

由多个空间传感器生成空间关系信息，所述空间关系信息指示所述固体浸没透镜与所述基板之间的空间关系，所述多个空间传感器包括多个原子力显微镜(AFM)；以及

由控制器接收所述空间关系信息，并且将校正信号发送到所述至少一个位置校正元件，以便尝试引入所述固体浸没透镜与所述基板之间的所需的空间关系；

其中，支撑结构连接至所述多个空间传感器、所述固体浸没透镜以及所述至少一个位置校正元件。

20.根据权利要求19所述的方法，其特征在于，每一个AFM都包括悬臂、尖端、悬臂保持支架、布置成照射所述悬臂的悬臂照明装置、以及布置成感测从所述悬臂偏转的光的检测器。