[发明专利]微流体装置及其制造方法、流路形成用感光性树脂组合物

权利要求书

1.一种微流体装置，在构件的内部具有流路，并且所述微流体装置的特征在于：

具有由支撑体、由感光性树脂组合物所形成的经图案化的树脂组合物层及盖所形成的流路，其中所述感光性树脂组合物含有具有氧杂环丙基的化合物、具有氧杂环丁基的化合物及光酸产生剂，相对于氧杂环丁基化合物100质量份，氧杂环丙基化合物的含量为0.1质量份～100质量份，所述盖将由所述支撑体及所述经图案化的树脂组合物层所形成的槽覆盖，

其中，所述支撑体、所述经图案化的树脂组合物层及所述盖一体化。

2.根据权利要求1所述的微流体装置，其中所述感光性树脂组合物进一步含有酸扩散控制剂。

3.根据权利要求1所述的微流体装置，其中选自所述支撑体及盖中的至少一个具有检测元件。

4.一种微流体装置的制造方法，制造在构件的内部具有流路的微流体装置，并且所述微流体装置的制造方法的特征在于包括：

在支撑体上形成由感光性树脂组合物所形成的树脂组合物层的工序，其中所述感光性树脂组合物含有具有氧杂环丙基的化合物、具有氧杂环丁基的化合物及光酸产生剂，相对于氧杂环丁基化合物100质量份，氧杂环丙基化合物的含量为0.1质量份～100质量份；

对所述树脂组合物层选择性地进行曝光及显影的工序；

在显影后的树脂组合物层上配置盖材的工序；以及

在配置所述盖材后，进一步包括加热处理工序。