[发明专利]用于检查工件的方法和设备

权利要求书

1.一种测量一系列基本上或标称上相同的工件的方法，其中所述系列中的每个工件接收自制造过程并被放置在具有周围温度的测量设备上，所述方法包括：

(a)在所述测量设备上将所述工件中的一个或者加工品作为参考工件进行测量，以产生所述参考工件的测量尺寸值，所述加工品具有多个特征，所述多个特征的大小和形状接近所述工件；

(b)从在所述测量设备外部的来源获得尺寸值的校准值；以及

(c)生成误差映射或查找表或误差函数，所述误差映射或查找表或误差函数使所述参考工件的测量尺寸值与对应的所述校准值相关；

其中在步骤(a)中在不同于所述测量设备的周围温度的非周围温度下对所述参考工件进行测量，且在非周围温度下在步骤(c)中所述误差映射或查找表或误差函数使所述参考工件的测量尺寸值与对应的所述校准值相关；以及

在步骤(a)中测量所述参考工件之前和/或之后，所述参考工件的温度保持在非周围温度。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在所述测量设备上测量所述系列的其它工件以产生测量尺寸值，并且其中所述系列中的每个工件接收自所述制造过程，并以可重复方式放置在所述测量设备上，所述可重复方式规定每个工件的所述非周围温度为可重复的。

3.根据权利要求2所述的方法，其中可重复的所述非周围温度在预定容差内是可重复的。

4.根据权利要求2所述的方法，其中使用所述误差映射或查找表或误差函数校正所述其它工件的测量尺寸值。

5.根据权利要求1中所述的方法，其中在所述非周围温度的预定容差内的温度下，在所述测量设备上测量所述系列的其它工件，以产生测量尺寸值，其对应于所述参考工件的测量尺寸值，并且使用所述误差映射或查找表或误差函数校正所述其它工件的测量尺寸值。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述系列中的每个工件接收自所述制造过程，并且以规定每个工件的温度在所述预定容差内的可重复方式放置在所述测量设备上。

7.根据权利要求2所述的方法，包括控制或调整接收自所述制造过程的工件的所述温度以减少或阻止其温度的任何偏差的步骤。

8.根据权利要求1所述的方法，其中在步骤(a)中的所述非周围温度下在步骤(c)中生成的所述误差映射或查找表或误差函数使所述参考工件的测量尺寸值与对应的所述校准值相关。

9.根据权利要求1所述的方法，其中步骤(a)在步骤(b)之前执行。

10.根据权利要求1所述的方法，其中通过在参考温度下校准所述参考工件获得所述校准值。

11.根据权利要求1所述的方法，其中在与步骤(a)不同的温度下所述误差映射或查找表或误差函数使用热膨胀系数使所述参考工件的测量尺寸值与对应的所述校准值相关。

12.根据权利要求1所述的方法，包括测量所述系列中的其它工件的温度，并且如果温度与所述非周围温度的差值大于预定容差，则：

在新温度下重新测量所述参考工件，以产生所述参考工件的新的测量尺寸值；以及

生成新的误差映射或查找表或误差函数，所述新的误差映射或查找表或误差函数使所述新温度下的所述新的测量尺寸值与对应的所述校准值相关。

13.根据权利要求1至11中任一项所述的方法，包括测量所述系列中的其它工件的温度，并且如果温度与所述非周围温度的差值大于预定容差，则：

在非周围温度下在所述测量设备上将所述其它工件作为新参考工件进行测量，以产生所述新参考工件的测量尺寸值；

从在所述测量设备外部的来源获得尺寸值的校准值；以及

生成新的误差映射或查找表或误差函数，其使所述新参考工件的测量尺寸值与对应校准值相关。