[发明专利]13族元素氮化物的制备方法以及熔液组合物

权利要求书

1.一种13族元素氮化物结晶的制备方法，所述方法是在包含助熔剂和13族元素的熔液中，在含氮气体气氛下，制备13族元素氮化物结晶，所述助熔剂至少含有碱金属，其特征在于，

将所述助熔剂、含所述13族元素的原料以及碳粉末混合并使其熔融，生成所述熔液，所述碳粉末的平均粒径为1～120μm，当以所述熔液中的所述助熔剂、所述13族元素以及碳的合计量为100原子％时，使碳量为0.005～0.018原子％。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述熔液内，设置形成有晶种的晶种基板，在所述晶种上培养所述13族元素氮化物结晶。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述13族元素为镓，所述13族元素氮化物为氮化镓。

4.一种熔液组合物，所述熔液组合物包含助熔剂和13族元素，用于在含氮气体气氛下培养13族元素氮化物结晶，所述助熔剂至少含有碱金属，其特征在于，

将所述助熔剂、含所述13族元素的原料以及碳粉末混合并使其熔融，生成所述熔液组合物，所述碳粉末的平均粒径为1～120μm，当所述熔液组合物中的所述助熔剂、所述13族元素以及碳的合计量为100原子％时，所述碳的含量为0.005～0.018原子％。

5.根据权利要求4所述的熔液组合物，其特征在于，在所述熔液组合物内，设置形成有晶种的晶种基板，在所述晶种上培养所述13族元素氮化物结晶。

6.根据权利要求4或5所述的熔液组合物，其特征在于，所述13族元素为镓，所述13族元素氮化物为氮化镓。