[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，具备泵座、配置于所述泵座上的转子、围绕其轴心可旋转地支撑并旋转驱动所述转子的支撑和驱动机构、以及将通过所述转子的旋转而吸入的气体引导至排出口的气体流路，在该真空泵中，具备将构成所述气体流路整体中的排气侧气体流路的固定零件与除此以外的零件绝热的绝热机构、和对通过所述绝热机构而绝热的所述固定零件加热的加热机构。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述排气侧气体流路是由所述转子的外周面和与其对置的螺纹槽泵定子形成的螺纹槽状的流路，所述固定零件是所述螺纹槽泵定子。

3.根据权利要求1至2中的任一项所述的真空泵，其特征在于，所述排气侧气体流路是由配设于所述转子的外周面的旋转叶片、和将由该旋转叶片赋予朝向所述气体流路的下游侧的运动量的气体分子向所述气体流路的下游侧引导的固定叶片形成的流路，所述固定零件是所述固定叶片。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的真空泵，其特征在于，所述加热机构成为如下的构造：在所述固定零件设置有安装部，在该安装部埋入设置有加热器，由此，该加热器对所述固定零件加热。

5.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于，所述固定零件的所述安装部设置有密封机构，从而配设于大气侧。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的真空泵，其特征在于，所述绝热机构是通过绝热空间和绝热隔离物而将所述固定零件绝热的构造。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的真空泵，其特征在于，所述泵座成为如下的构造：至少分割成上基座部和下基座部，通过紧固机构将所分割的该上基座部和该下基座部接合，由此，所述上基座部和所述下基座部存在热传导。

8.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述绝热空间是所述泵座与所述固定零件之间的间隙。

9.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述绝热隔离物介于所述固定零件与位于其下部的所述泵座之间，而且将所述固定零件和所述泵座紧固，从而支撑所述固定零件。

10.根据权利要求7所述的真空泵，其特征在于，在所述上基座部和所述下基座部的双方或任一方，设置有冷却机构。