[发明专利]头部组件

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于辐射式燃烧器的头部组件、入口组件及方法。

背景技术

辐射式燃烧器是已知的，且通常用于处理来自例如用于半导体或平板显示器制造行业中的制造处理工具的排出气流。在这种制造期间，残余的全氟化合物(PFC)和其它化合物存在于从处理工具泵送出的排出气流中。PFC难以从排出气体除去，且其释放到环境中是不期望的，因为已知它们具有相对较高的温室效应。

已知的辐射式燃烧器使用燃烧从排出气流除去PFC和其它化合物。通常，排出气流是含有PFC和其它化合物的氮流。燃料气体与排出气流混合，且该气流混合物传送到燃烧室中，燃烧室由小孔气体燃烧器的流出表面侧向地包绕。燃料气体和空气同时供应至小孔燃烧器以影响流出表面处的无火焰燃烧，其中穿过小孔燃烧器的空气量足以不但消耗供应至燃烧器的燃料气体，而且消耗喷射到燃烧室中的气流混合物中的所有可燃物。

存在于排出气流中的化合物的范围和该排出气流的流动特征可从处理工具到处理工具不同，且因而燃料气体和空气连同需要引入辐射式燃烧器的其它气体或流体的范围也将变化。

尽管存在用于处理排出气流的技术，但它们分别具有其自身的不足。因此，提供一种用于处理排出气流的改进的技术是合乎需要的。

发明内容

根据第一方面，提供了一种用于辐射式燃烧器的头部组件，该头部组件包括：限定延伸穿过其间的多个相同壳体孔口的壳体；由壳体接收且限定延伸穿过其间的对应的多个相同的互补定位的隔热体孔口的隔热体；以及构造成由相同的壳体孔口中的一个接收的至少一个入口组件，各个入口组件均包括：构造成由相同的壳体孔口中的所述一个接收的壳体部分；以及构造成填充互补定位的隔热体孔口的隔热体部分。

第一方面认识到了随着待处理的排出气体的范围的增大，用于辐射式燃烧器的构造的可能范围也增大。具体而言，待处理的排出气体的不同类型可以以不同速率且以不同浓度提供。为了减少或处理这些不同的排出气体，这些不同的排出气体可能需要以不同方式连同不同组合、浓度和/或速率的其它流体(诸如，燃料、氧化剂和任何其它支持流体，例如，诸如空气)分配到辐射式燃烧器的燃烧室中。这些变化的要求可导致头部组件的复杂工程，且常规途径在于创造用于各个特定应用的头部组件。该复杂性由相对较小尺寸的辐射式燃烧器加大，且提供所需管道的所有必需联接和路线以便将流体传送、混合和/或分配到进给燃烧室的适合出口变得复杂。第一方面还认识到重新构造现有的头部组件来满足这些不同的要求可能很难且甚至不可能，如可在不完全拆卸辐射式燃烧器的情况下执行维护那样。特别是在头部组件的一些部分比其它部分需要更多定期维护时，这可能破坏性极大。

因此，可提供一种头部组件。该头部组件可用于辐射式燃烧器。该头部组件可包括壳体。壳体可限定或提供多个壳体孔口，各个壳体孔口可相同。壳体孔口可延伸穿过壳体。头部组件还可包括隔热体。隔热体可由壳体接收。隔热体可限定或提供对应的多个相同的隔热体孔口。那些隔热体孔口可与壳体孔口互补或共同定位。隔热体孔口可延伸穿过隔热体。头部组件还可包括至少一个入口组件。入口组件可构造成或大小确定成由壳体孔口中的一个接收或定位在其中。各个入口组件均可包括壳体部分。壳体部分可构造成或大小确定成由壳体孔口接收。入口组件还可包括隔热体部分。隔热体部分可定形、大小确定成或构造成填充或占据隔热体孔口。以此方式，提供了头部组件，其具有多个孔口，其中任何一个都可接收入口组件。给定各个入口组件构造成由任何孔口接收，这给组件的插入和除去提供了灵活性，而不需要从辐射式燃烧器完全拆卸头部组件。另外，通过形成具有壳体部分和隔热部分的入口组件，组件可定位在头部组件内，且隔热部分防止热破坏。

在一个实施例中，各个相同的壳体孔口均包括可操作成接收多个不同入口组件中的任一个入口组件的公共固定布置，各个入口组件均具有互补的公共固定布置。因此，入口组件和壳体孔口中的各个均可使用相同的互补固定布置或机构来允许任何不同构造的入口组件由任何孔口接收。另外，这在重新构造头部组件时提供了巨大的灵活性。

在一个实施例中，各个相同壳体孔口越过壳体的主面分布。越过壳体的至少主面或主要面分布孔口使得用于联接到流体供应的入口组件周围的可用空间尽可能大。

在一个实施例中，壳体包括延伸穿过其间的至少另一个孔口，且隔热体包括延伸穿过其间的至少一个互补定位的隔热体孔口，该至少另一个孔口构造成接收内燃烧器进给组件、引导器组件、热电偶组件和观察窗组件中的至少一者。因此，壳体还可容纳辐射式燃烧器的正确作用所需的其它组件。