[发明专利]热式空气流量计

说明书

本发明的目的在于提供一种测量精度高的热式空气流量计，该热式空气流量计确保流量检测部的高的定位精度、并降低产生于LSI内的电阻的热应力的影响。因此，在具备通过将具备电阻(7)的LSI3与流量检测部(4a)以流量检测部(4a)的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成的传感器部件(100)、具有副通路(305i、305o、305s)将流量检测部(4a)配置于副通路(305s)内并收纳传感器部件(100)的箱体(301)，传感器部件(100)由第一树脂模制成形，箱体(301)由第二树脂模制成形的热式空气流量计中，传感器部件(100)利用形成第二树脂固定于箱体(301)，具备相对于传感器部件(100)产生与流量检测部(4a)的露出面平行的方向的拉伸应力的树脂结构(20、21)。

技术领域

本发明涉及具备用树脂覆盖具备流量检测部的传感器芯片与处理由流量检测部检测的信号的LSI而构成的传感器部件的热式空气流量计。

背景技术

测量气体流量的热式空气流量计具备用于测量流量的流量检测部，通过在上述流量检测部与作为测量对象的气体之间进行热传递，测量气体的流量。热式空气流量计测量的流量在各种各样的装置中作为重要的控制参数而广泛地被使用。热式空气流量计的特征为能够以相比较于其他方式的流量计相对高的精度测量气体流量、如质量流量。

可是，期望更进一步提高气体流量测量精度。例如，在搭载内燃机构的车辆中，节省燃油费的期望与尾气净化的期望非常高。对应这些期望，谋求以高精度测量作为内燃机构主要参数的吸入空气量。测量被导入内燃机构的吸入空气的热式空气流量计具备取入吸入空气量的一部分的副通路与配置于上述副通路的流量检测部，通过上述流量检测部在与被测量气体之间进行热传递，测量流经上述副通路的被测量气体的状态，输出表示向上述内燃机构导入的吸入空气量的电力信号。这样的技术例如公开于日本特开2011-252796号公报(专利文献1)中。

在专利文献1中的空气流量测量装置中，具备形成取入的空气流经的内部流路的箱体、配置于副流路内的传感器芯片、处理传感器芯片产生的电力信号的电路芯片，传感器芯片与电路芯片作为成为一个结构部件的传感器部件而组装(段落0027、0031)。箱体具备嵌入传感器部件的孔，在形成孔的面上设置分别面接触于设置于传感器部件上的两个抵接面的两个抵接面(段落0033)。在形成孔的面上，在除了两个抵接面的面部上设置肋，传感器部件通过以压接于肋的顶端的方式压入孔中，固定于箱体中(段落0034)。由此，在传感器部件与箱体之间遮断线膨胀的传递，以线膨胀差引起的应力不作用在传感器芯片、电路芯片的方式，抑制传感器芯片、电路芯片的元件的阻值的变动(摘要)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-252796号公报

发明内容

发明所要解决的课题

为了通过热式空气流量计以高精度测量空气的流量，谋求在设置于用于测量流经主通路的空气流量的热式空气流量计上的副通路上，以高精度定位流量检测部并固定，准确地测量由流量检测部检测的流量。在记载于专利文献1中的技术中，预先用树脂制作具备开有用于嵌入传感器部件的孔的内部流路的箱体，与该箱体不同地制造具备流量检测部传感器部件，其次以向内部流路的孔插入传感器部件的状态，将传感器部件固定于箱体中。在向内部流路开口的孔与传感器芯片之间的间隙、以及传感器部件向箱体中的嵌入部分的间隙中填充弹性粘接剂，以粘接剂的弹性力吸收相互的线膨胀系数差。

而且，为了减小传感器部件与设置于箱体上的副通路之间的位置与角度的偏差，相对于副通路(内部流路)准确地定位传感器部件(尤其是流量检测部)，与箱体的模制成型的同时固定含有流量检测部的传感器部件有效。

可是，在这种情况下，由于传感器部件与箱体之间的线膨胀系数差，引起在LSI：Large Scale Integration(电路芯片)内抵抗中产生的热应力相比较于使用粘接剂的情况高，测量精度降低的课题。