[发明专利]用于制造用以对生物聚合物测序的纳米孔的方法

权利要求书

1.用于制造至少一个用于在设备的室（5）中对生物聚合物测序的具有预先确定的直径的纳米孔（28）的方法，包括步骤：

-在室（5）中提供至少一个电极（10）和传导的或不传导的纳米颗粒（16、16'），其中所述传导的或不传导的纳米颗粒（16、16'）布置在电极（10）和与电极（10）相对的限制部件（12）之间的间隙（14）中（S1），

-用导电的材料和/或另一导电的材料至少涂布所述电极（10），并且由此在间隙（14）中机械地固定所述传导的或不传导的纳米颗粒（16、16'），使得在间隙（14）中形成固定的多孔装置（24）（S2），

其特征在于步骤：

-用所述导电的材料和/或另一导电的材料填充固定的多孔装置（24）（S3），并且由此将固定的多孔装置（24）的至少一个孔（26）的直径设定为预先确定的直径，使得所述纳米孔（28）被构造，其中所述纳米孔（28）由至少两个不传导的纳米颗粒（16）限制为使得至少两个不传导的纳米颗粒（16）将布置在第一电极（10）处的导电的材料与限制部件（12）或者至限制部件（12）的导电连接隔开。

2.按照权利要求1所述的方法，其中在室（5）中提供另一电极作为限制部件（12）。

3.按照权利要求1或2所述的方法，其中所述涂布步骤（S2）包括涂布限制部件（12）。

4.按照权利要求1或2所述的方法，其中在间隙（14）中，

-至少一个另外的传导的纳米颗粒（16'）被提供，并且电极（10）的涂布和/或固定的多孔装置（24）的填充包括至少部分地涂布至少一个传导的纳米颗粒（16'），或者

-仅不传导的纳米颗粒（16）被提供。

5.按照权利要求1或2所述的方法，其中固定的多孔装置（24）的填充包括用传导的材料涂布限制孔（26）的表面。

6.按照权利要求1或2所述的方法，其中所述涂布步骤（S2）和/或填充固定的多孔装置（24、S3）通过电镀实现。

7.按照权利要求1或2所述的方法，其中填充固定的多孔装置（24、S3）实现通过用传导的材料涂布限制孔（26）的表面来封闭孔（26、S4）并且通过去除传导的材料（S5）接着构造具有预先确定的直径的纳米孔（28）。

8.按照权利要求7所述的方法，其中通过电迁移、脉动式电迁移和/或熔断封闭的涂层（22）构造纳米孔（28）。

9.按照权利要求1或2所述的方法，包括在填充固定的多孔装置（24、S3）期间对孔（26）的直径进行测量。

10.按照权利要求1或2所述的方法，此外包括步骤：

-将生物聚合物传导通过固定的多孔装置（24），并且在纳米孔（28）中测量隧道电流用以检验纳米孔（28）的存在。

11.具有至少一个用于对生物聚合物测序的纳米孔（28）的固定的多孔装置（24），所述纳米孔通过按照权利要求1至10之一所述的方法制造。

12.用于在设备中对生物聚合物（30）测序的方法，包括步骤：

-在设备的室（5）中提供按照权利要求11所述的至少一个固定的多孔装置（24），

-提供生物聚合物（30），

-将生物聚合物（30）传导通过至少一个纳米孔（28、S4），并且，

-在至少一个纳米孔中测量隧道电流（28、S5），

-测定生物聚合物（30）的序列。

13.按照权利要求12所述的方法，其中提供至少一个固定的多孔装置（24）包括按照权利要求1至10之一所述制造纳米孔（28）。

14.按照权利要求12或者13所述的方法，其中，借助于在室（5）中布置的CMOS传感器或者电子CMOS电路测量隧道电流。

15.按照权利要求12所述的方法，其中所述生物聚合物包括核酸或者蛋白质。

16.用于对生物聚合物（30）测序的设备，所述设备被设计用于，执行按照权利要求12至15之一所述的方法，并且所述设备包括按照权利要求11所述的至少一个固定的多孔装置（24）。