[发明专利]基板处理装置、基板处理方法、以及基板处理系统

说明书

技术领域

本发明涉及对基板进行处理的基板处理装置、基板处理方法、以及基板处理系统。作为成为处理对象的基板，包括例如半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子体显示器用基板、FED(Field Emission Display：场发射显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳电池用基板等。

背景技术

在半导体装置和液晶显示装置等制造工序中，对半导体晶片和液晶显示装置用玻璃基板等的基板进行包含清洗处理、热处理、成膜处理、蚀刻处理、抗蚀剂涂敷处理、曝光处理、以及显影处理中的2个以上的多个工序。

在专利文献1中公开了进行成膜处理的成膜处理装置、对由成膜处理装置成膜处理后的基板进行清洗的清洗装置、在成膜处理装置和清洗装置之间进行基板的交接的中间交接部、将容纳多张基板的基板搬送用盒向成膜处理装置搬送的盒搬送装置。

在专利文献2中公开了一种具有计算机的基板处理装置，该计算机作成在基板处理装置内对搬送到基板处理装置的基板容纳器内的多张基板进行搬送以及处理的计划。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-321575号公报

专利文献2：美国专利申请公开第2013/0073069号说明书

发明内容

发明所要解决的问题

如专利文献1所记载那样，为了提高基板的品质，想要缩短在某个基板处理装置结束基板的处理至在其他基板处理装置开始基板的处理的时间。但 是，如专利文献2所记载那样，基板处理装置作成并执行在该装置内搬送基板的计划。因此，在如专利文献1那样在3个装置(成膜装置、中间交接部以及清洗装置)之间直接搬送基板的情况下，有可能无法在装置之间顺利地搬送基板，产生搬送时间的损失。

因此，本发明的一个目的在于，提供能够缩短可顺利地在多个装置之间搬送基板的时间的基板处理装置、基板处理方法、以及基板处理系统。

用于解决问题的手段

用于实现上述目的的本发明的一实施方式提供一种基板处理装置，对应于来自主计算机的任务生成指示来作成任务，基于该任务在规定的管理区内执行基板的搬送及/或处理，

该基板处理装置与中间装置连接，该中间装置在第一基板处理装置的外部直接支撑由所述第一基板处理装置处理过的基板的状态下搬送该基板，该第一基板处理装置是在该基板处理装置之前的阶段处理基板的其他基板处理装置，

该基板处理装置具有：

直接搬入口，接受从所述中间装置搬入的基板，

搬送单元，搬送要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板，并在所述管理区内搬送基板，

多个处理单元，对由所述搬送单元搬入的基板进行处理，

控制装置，对所述基板处理装置进行控制。

该控制装置执行：

第一步骤，当从所述主计算机报告要由该基板处理装置处理的预定的基板位于所述第一基板处理装置时，将该基板的在所述第一基板处理装置的位置信息与该控制装置能够识别的虚拟基板位置信息建立对应并存储，

第二步骤，当从所述主计算机发出所述基板的任务生成指示时，使用所述虚拟基板位置信息生成用于将所述基板在该基板处理装置进行搬送及/或处理的任务。

根据该结构，基板处理装置的控制装置将预定处理的基板的在第一基板处理装置的位置信息与该控制装置能够识别的虚拟基板位置信息建立对应并存储。为了作成与来自主计算机的任务生成指示对应的任务，需要预定处理的基板的位置信息，而在本发明中，预定处理的基板到达基板处理装置之前的阶段以虚拟基板位置信息的形式预先准备预定处理的基板的位置信息。因此，能够从在基板实际到达基板处理装置之前的阶段执行任务的作成作业。由此，能够在多个基板处理装置之间顺利地搬送基板。

所述控制装置还可以执行第三步骤，使用在所述第一步骤存储的虚拟基板位置信息，在该基板搬入所述基板处理装置之前作成第二计划，该第二计划包括使所述搬送单元将要经由所述直接搬入口向所述基板处理装置搬入的基板从所述基板处理装置的外部搬送到所述基板处理装置的内部的搬入工序。