[发明专利]一种具有裂纹的导电薄膜的高灵敏度传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种高灵敏度传感器，其特征在于，包括：

载体；

形成于所述载体至少一面上的导电薄膜；

所述导电薄膜包括裂纹，至少部分所述裂纹具有彼此部分接触的相对的裂 纹面；

在外界物理刺激下，所述相对的裂纹面相对移动，使所述相对的裂纹面的 接触面积变化、或者使所述相对的裂纹面的接触断开-再重新接触，引起所述导 电薄膜的电阻变化，所述传感器通过检测所述电阻变化以测量所述外界物理刺 激。

2.根据权利要求1所述的高灵敏度传感器，其特征在于，所述裂纹沿所述 导电薄膜的晶界设置。

3.根据权利要求2所述的高灵敏度传感器，其特征在于，所述裂纹为纳米 级裂纹。

4.根据权利要求1所述的高灵敏度传感器，其特征在于，所述裂纹通过外 界刺激形成电意义上的短路或者开路，以改变导电薄膜的电阻值。

5.根据权利要求4所述的高灵敏度传感器，其特征在于，所述外界刺激包 括位移、振动、拉力、压力，以及所述位移、振动、拉力和压力的结合。

6.根据权利要求1所述的高灵敏度传感器，其特征在于，所述载体具有多 层结构，包括基膜和形成于基膜上的柔性高分子层。

7.根据权利要求1所述的高灵敏度传感器，其特征在于，所述导电薄膜的 厚度为0.1纳米至1微米。

8.根据权利要求1所述的高灵敏度传感器，其特征在于，所述导电薄膜由 至少为一种选自铂金、镍、铜、黄金、银、铁、铬、镁、锌、锡、铝、钴、锰、 钨、镉、钯以及碳中的导电材料形成。

9.根据权利要求1所述的高灵敏度传感器，其特征在于，所述传感器具有 1至5×10⁸的应变灵敏度因子。

10.根据权利要求1所述的高灵敏度传感器，其特征在于，所述传感器具 有0.1KPa^-1到1000KPa^-1的压力灵敏度范围。

11.一种压力传感器，包括如权利要求1至10任一项所述的高灵敏度传感 器。

12.一种拉力仪，包括如权利要求1至10任一项所述的高灵敏度传感器。

13.一种振动传感器，包括如权利要求1至10任一项所述的高灵敏度传感 器。

14.一种人造皮肤，包括如权利要求1至10任一项所述的高灵敏度传感器。

15.一种声音识别系统，如权利要求1至10任一项所述的高灵敏度传感器。

16.一种制作高灵敏度传感器的方法，包括：

在载体的至少一面上形成导电薄膜，及

在导电薄膜中形成裂纹。