[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空泵，特别地，涉及一种能够在半导体制造装置和高能物理学的工业真空装置等中在从中真空到超高真空的压力范围内利用的真空泵。

背景技术

随着近年来电子设备的发展，存储器和集成电路等半导体装置的需求急剧增大。这些半导体装置通过下述方式被制造：向纯度极高的半导体基板（晶片）掺杂杂质来赋予电气性能，借助蚀刻在半导体基板上形成细微的电路。这些操作为了避免由空气中的尘等带来的影响，需要在高真空状态的腔内进行，对于腔内的排气，一般使用真空泵，该真空泵是已知的（例如参照专利文献1、专利文献2）。

在这样的真空泵中，设置有泵主体和控制单元，前述控制单元输入输出向该泵主体的电力和控制信号来控制该泵主体的驱动。另外，泵主体和控制单元之间的电力和控制信号的输入输出使用金属缆线（wirecable），前述金属缆线用绝缘用乙烯树脂等包覆芯线的外周构成。该金属缆线的根数为约40根以上，在真空泵内占据的空间也很多。

专利文献1：日本特开2006-344503号公报。

专利文献2：日本实用新案登录第3138105号公报。

如上所述，如在专利文献1、专利文献2中已知的那样，在以往的真空泵中，对于泵主体和控制单元之间的电力和控制信号的输入输出，使用将芯线的外周用绝缘用乙烯树脂等包覆的金属缆线。因此，在真空泵内金属缆线占据的空间很多，而且重量也增大，因此妨碍真空泵的小型化和轻量化。

进而，金属缆线价格高，也是成本增加的原因。另外，金属缆线具有挠性，但若要使多根构成为束的金属缆线同时弯曲，需要很大的力，也有作业性不佳的问题。

发明内容

因此，为了提供能够实现小型轻量化、提高作业性并降低成本的真空泵，出现了必须解决的技术性问题，本发明的目的就是解决该问题。

本发明是为了实现上述目的提出的发明，技术方案1记载的发明提供一种真空泵，具备泵主体和控制单元，前述泵主体具有旋转体，前述控制单元对该泵主体进行驱动控制，将前述泵主体内的电气连接、前述控制单元内的电气连接、或者前述泵主体和前述控制单元之间的电气连接借助电缆进行连接，其中，前述电缆的至少一部分借助柔性印制配线板形成，前述柔性印制配线板通过在呈薄板状的绝缘性基材的表面上设置配线图案而形成。

根据该方案，用于进行泵主体内的电气连接、控制单元内的电气连接、或者泵主体和控制单元之间的电气连接的的电缆的至少一部分使用柔性印制配线板，因此与以往的金属缆线相比，电缆占据的空间变小，并且变轻。另外，能够容易地使柔性印制配线板弯曲，简单地向所需要的位置拖拽。

技术方案2记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1记载的方案中，前述控制单元安装在前述泵主体上。

根据该方案，泵主体和控制单元一体化，能够实现紧凑化。

技术方案3记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1或2记载的方案中，前述柔性印制配线板具备安装在至少一端侧的连接器。

根据该方案，能够经由柔性印制配线板和连接器，容易地进行泵主体内的电气连接、控制单元内的电气连接、或者泵主体和控制单元之间的电气连接。

技术方案4记载的发明提供一种真空泵，在技术方案3记载的方案中，前述连接器具有用于与前述柔性印制配线板连接的多个销。

根据该方案，使连接器的销插入柔性印制配线板的孔，由此能够使柔性印制配线板的端子和连接器的销简单地电气连接。

技术方案5记载的发明提供一种真空泵，在技术方案4记载的方案中，前述多个销夹着前述柔性印制配线板的延伸方向中心配设在左右对称的位置上，前述连接器设有指示安装前述柔性印制配线板的朝向的指示机构。

根据该方案，若按照设在连接器上的指示机构的指示，向连接器安装柔性印制配线板，则能够在不弄错柔性印制配线板的朝向的情况下进行安装。

技术方案6记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1到5中任意一项记载的方案中，前述柔性印制配线板具有多个孔与多个端子，前述多个端子将该多个孔分别包围并分别连接于前述配线图案。

根据该方案，使连接器的销插入柔性印制配线板的孔，由此能够使柔性印制配线板的端子和连接器的销简单地电气连接。

技术方案7记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1到6中任意一项记载的方案中，前述柔性印制配线板设有指示安装前述柔性印制配线板的朝向的指示机构。