[发明专利]用于干膜抗蚀剂的光敏树脂组合物有效
| 申请号： | 201480044108.9 | 申请日： | 2014-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN105705998B | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 奉东勋;崔钟昱 | 申请（专利权）人： | 可隆工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 黄丽娟,李静 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 干膜抗蚀剂 光敏 树脂 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于干膜抗蚀剂的光敏树脂组合物，该光敏树脂组合物包括：光聚合引发剂(A)；碱性显像粘合剂聚合物(B)；以及光聚合化合物(C)，其中，该光聚合化合物(C)包含由下列化学式1所示的化合物，该碱性显像粘合剂聚合物(B)与该光聚合化合物(C)的重量比为1：0.1-1，
化学式1
其中，l+n是2或3的整数，并且l和n都不为0，m是12-18的整数。
2.根据权利要求1所述的用于干膜抗蚀剂的光敏树脂组合物，其中，该光敏树脂组合物以固体成分为基准，包含2-10重量％的所述光聚合引发剂(A)，以及5-40重量％如化学式1所示的化合物。
3.根据权利要求1所述的用于干膜抗蚀剂的光敏树脂组合物，其中，该光敏树脂组合物以固体成分为基准，包含2-10重量％的所述光聚合引发剂(A)，以及10-35重量％如化学式1所示的化合物。
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