[发明专利]照明装置和曝光装置

权利要求书

1.一种照明装置，其特征在于，该照明装置具备：

多个光源，它们分别发出照明光；

光检测部，其配置在照明光学系统与被照射区域之间，对所述多个光源的总体照明光的照度/强度进行检测；以及

照明控制部，其对所述多个光源分别进行发光控制，

所述照明控制部使所述多个光源分别发出照度/强度按照与所述多个光源对应的各自不同的频率而变动的计测照明光，

所述光检测部根据各自不同的频率，从叠加各光源的计测照明光而得到的总体计测照明光中，获得不包含各光源的变动的照明光的照度/强度，

所述多个光源分别利用交流电来发出照明光，

所述照明控制部向各光源供给具有将基频和与该光源对应的特定频率叠加而得到的合成频率的交流功率，使所述各光源发出计测照明光。

2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述照明控制部根据与供给到各光源的电力的周期变动相应地产生照度/强度的周期变动的频率，发出计测照明光。

3.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述照明控制部将超过基频的至少2倍的特定频率叠加到基频。

4.根据权利要求1或3所述的照明装置，其特征在于，

所述照明控制部将下式的范围内的特定频率叠加到基频，

6×F≤fm≤10/PW0

其中，fm表示特定频率，其单位是kHz，F表示基频，其单位是kHz，PW0表示具有基频F的矩形波的交流功率，其单位是kW。

5.根据权利要求1或3所述的照明装置，其特征在于，

与所述多个光源对应的多个特定频率彼此具有最小允许间隔以上的频率间隔。

6.根据权利要求1或2所述的照明装置，其特征在于，

所述光检测部具有同步检波部。

7.根据权利要求1或2所述的照明装置，其特征在于，

所述光检测部具有滤光器，所述滤光器将总体照明光分别分离成各光源的计测照明光，

所述光检测部根据各光源的计测照明光的振幅幅值，检测波动照明光的照度/强度。

8.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述照明控制部均等地控制针对各光源的供给功率。

9.一种曝光装置，其中，该曝光装置具备权利要求1所述的照明装置。