[发明专利]垂直铁电场效晶体管构造有效

专利信息
申请号: 201480044580.2 申请日: 2014-07-22
公开(公告)号: CN105453267B 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 卡迈勒·M·考尔道;钱德拉·穆利;古尔特杰·S·桑胡 申请(专利权)人: 美光科技公司
主分类号: H01L27/1159 分类号: H01L27/1159;H01L27/11514;H01L27/11582;H01L27/1157;H01L27/11578;H01L27/11597;H01L27/11585;H01L29/78;H01L29/49;H01L29/786;H01L29/51;H01L29/10
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 路勇
地址: 美国爱*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 垂直 电场 晶体管 构造 包括 一对 侧向 相对
【权利要求书】:

1.一种垂直铁电场效晶体管构造,其包括:

隔离芯;

过渡金属二硫属化物材料,其围绕所述隔离芯且具有1个单层到7个单层的侧向壁厚度;

铁电栅极电介质材料,其围绕所述过渡金属二硫属化物材料;

导电栅极材料,其围绕所述铁电栅极电介质材料,所述过渡金属二硫属化物材料从所述导电栅极材料立面向内及立面向外延伸;及

导电接触件,其直接抵靠a)从所述导电栅极材料立面向内或b)从所述导电栅极材料立面向外延伸的所述过渡金属二硫属化物材料的侧向外侧壁。

2.根据权利要求1所述的构造,其中所述隔离芯、所述过渡金属二硫属化物材料及所述铁电栅极电介质材料各自具有在水平横截面中成圆形的相应周边。

3.根据权利要求1所述的构造,其中所述过渡金属二硫属化物材料的侧向壁厚度不超过4个单层。

4.根据权利要求3所述的构造,其中所述过渡金属二硫属化物材料的侧向壁厚度不超过2个单层。

5.根据权利要求1所述的构造,其中所述过渡金属二硫属化物材料包括MoS2、WS2、MoSe2及WSe2中的至少一者。

6.根据权利要求1所述的构造,其中直接抵靠所述侧向外侧壁的所述导电接触件的材料为元素金属、元素金属的合金及/或导电金属化合物。

7.根据权利要求1所述的构造,其中直接抵靠所述侧向外侧壁的所述导电接触件的材料为导电掺杂半导电材料。

8.根据权利要求1所述的构造,其中所述铁电栅极电介质材料具有1纳米到30纳米的侧向壁厚度。

9.根据权利要求8所述的构造,其中所述铁电栅极电介质材料具有2纳米到10纳米的侧向壁厚度。

10.根据权利要求1所述的构造,其中所述过渡金属二硫属化物材料的侧向壁厚度不超过2个单层,且所述铁电栅极电介质材料具有2纳米到10纳米的侧向壁厚度。

11.根据权利要求1所述的构造,其中所述导电接触件直接抵靠从所述导电栅极材料立面向外的所述过渡金属二硫属化物材料的所述侧向外侧壁。

12.根据权利要求1所述的构造,其中所述过渡金属二硫属化物材料具有立面最外端表面及立面最内端表面,所述导电接触件未直接抵靠最接近所述导电接触件侧向直接抵靠的所述过渡金属二硫属化物材料的所述侧向外侧壁的所述端表面中的一者。

13.根据权利要求1所述的构造,其中所述过渡金属二硫属化物材料具有立面最外端表面及立面最内端表面,所述导电接触件还直接抵靠所述端表面中的一者,所述端表面中的所述一者最接近所述导电接触件侧向直接抵靠的所述过渡金属二硫属化物材料的所述侧向外侧壁。

14.根据权利要求13所述的构造,其中所述导电接触件直接抵靠的所述过渡金属二硫属化物材料的侧壁表面面积大于所述导电接触件直接抵靠的所述过渡金属二硫属化物材料的端壁表面面积。

15.根据权利要求1所述的构造,其中所述导电接触件直接抵靠从所述导电栅极材料立面向内的所述过渡金属二硫属化物材料的所述侧向外侧壁。

16.根据权利要求1所述的构造,其中所述导电接触件直接抵靠从所述导电栅极材料立面向外的所述过渡金属二硫属化物材料的所述侧向外侧壁,且所述构造包括直接抵靠从所述导电栅极材料立面向内的所述过渡金属二硫属化物材料的所述侧向外侧壁的另一导电接触件。

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