[发明专利]液体钛氧化物组合物、用于形成所述组合物的方法和用于使用所述组合物蚀刻基材的或覆盖基材的材料层的方法

权利要求书

1.液体钛氧化物组合物，包含：

溶剂体系；

有机钛酸酯；和

具有约140℃至约400℃的沸点的高沸点溶剂。

2.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其中当旋涂于硅基材上并经受PGMEA时的所述液体钛氧化物组合物的起始不溶性温度高于当旋涂于类似的硅基材上并经受PGMEA时的不具有高沸点溶剂的相同的液体钛氧化物组合物的起始不溶性温度。

3.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其中所述有机钛酸酯包括钛的醇/酚盐。

4.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其中所述有机钛酸酯包括钛-氧骨架聚合物。

5.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其中所述溶剂体系包含醇。

6.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其中所述溶剂体系包含水。

7.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其中所述液体钛氧化物组合物基本不含水。

8.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其中所述液体钛氧化物组合物基本不含酸。

9.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其中所述有机钛酸酯具有式Ti(OR)₄，其中每个R不必相同，并且R是具有1至6个碳的烷基或者R是氧亚烷基。

10.权利要求9的液体钛氧化物组合物，其中所述有机钛酸酯包括钛酸四异丙酯（TIPO）、钛酸四乙酯、钛酸四丙酯、钛酸四丁酯、钛酸四异丁酯、钛酸四叔丁酯、钛酸四己酯、(聚氧亚乙基)三异丙氧基钛、二异丙氧基(双-乙酰丙酮)钛或其混合物。

11.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其进一步包含组合物稳定剂。

12.权利要求15的液体钛氧化物组合物，其中所述组合物稳定剂包括2,4-戊二酮、3,3-二甲基-2,4-戊二酮、3-甲基-2,4-戊二酮、乙酰乙酸乙酯、丙二酸二乙酯、苹果酸二乙酯、乙二胺四乙酸、草酸、草氨酸、辛酸、油酸、十二烷基羧酸、全氟辛酸、乳酸乙酯、丁基化的羟基甲苯、1,3-丙二醇、丙酮酸甲酯或其混合物。

13.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其中所述高沸点溶剂包括三丙二醇甲醚、二丙二醇正丙醚、二丙二醇丁醚、三丙二醇正丁醚、卡必醇、己基卡必醇、三乙二醇甲醚、甲基卡必醇、丁基溶纤剂、丁基溶纤剂乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、二乙二醇苯醚或其混合物。

14.权利要求1的液体钛氧化物组合物，其中所述液体钛氧化物组合物具有不大于约5cP的粘度。

15.用于形成液体钛氧化物组合物的方法，所述方法包括步骤：

将有机钛酸酯添加至溶剂体系以形成混合物，其中所述有机钛酸酯具有式：Ti(OR)₄，其中每个R可以不同，并且R是具有1至6个碳的烷基或者R是氧亚烷基；

将高沸点溶剂添加至混合物，所述高沸点溶剂具有约140℃至约400℃的沸点；和

混合所述高沸点溶剂和所述混合物。