[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、半导体装置和抗蚀剂图案的形成方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有

(A)成分：具有酚羟基的树脂；

(B)成分：具有羟甲基或烷氧基烷基的化合物；

(C)成分：具有2个以上选自丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、缩水甘油氧基和羟基中的1种以上官能团的脂肪族化合物；以及

(D)成分：含有选自盐化合物、含卤素化合物、磺酸化合物、磺酰亚胺化合物、重氮甲烷化合物中的至少一种的光敏性酸产生剂。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分为可溶于碱水溶液的树脂。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分包含酚醛清漆树脂。

4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分的重均分子量小于或等于100000。

5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分的重均分子量为1000～80000。

6.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含具有选自由芳香环、杂环和脂环组成的组中的至少1种且具有羟甲基或烷氧基烷基的化合物。

7.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，(B)成分包含下述通式(1)所表示的化合物，

式中，Z表示单键或2价有机基团，R₂₄和R₂₅各自独立地表示氢原子或1价有机基团，R₂₆和R₂₇各自独立地表示1价有机基团，a和b各自独立地表示1～3的整数，c和d各自独立地表示0～3的整数。

8.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，(B)成分包含下述通式(2)所表示的化合物，

式中，X₁表示单键或2价有机基团，R表示烷基。

9.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，(B)成分包含下述通式(5)或(6)所表示的化合物，

式中，R表示烷基，

式中，R表示烷基。

10.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，相对于所述(A)成分100质量份，含有所述(B)成分5～60质量份。

11.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物，相对于所述(A)成分100质量份，含有所述(B)成分10～45质量份。

12.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物，相对于所述(A)成分100质量份，含有所述(B)成分10～35质量份。

13.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(C)成分的重均分子量为92～2000。

14.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(C)成分的所述官能团为缩水甘油氧基、丙烯酰氧基或甲基丙烯酰氧基。

15.根据权利要求14所述的感光性树脂组合物，所述(C)成分的所述官能团为缩水甘油氧基或丙烯酰氧基。

16.根据权利要求14所述的感光性树脂组合物，所述(C)成分的所述官能团为丙烯酰氧基。