[发明专利]自动地确定样品特征的位置的离轴测力传感器力感测

权利要求书

1.一种用于在材料测试应用中定位样品的选定特征的中心的方法，包括以下步骤：

提供包括探针的测力传感器；

将所述探针朝向所述样品的所述选定特征引导；

将所述探针驱动到所述样品的所述选定特征中；

在第一方向上执行以下步骤：

将所述样品驱动到所述探针的侧面中直到在接触点处检测到接触；

计算所述第一方向上的第一测量结果；

将所述样品从所述探针以接触点的偏移距离后退，

其中根据以下步骤计算所述偏移距离：

提供至少一个预期的力比位移曲线；

在将所述样品后退的所述步骤之后，在垂直于所述第一方向的第二方向上将所述探针相对于所述样品移动，由此得出实际的力比位移曲线；

将所述实际的力比位移曲线与所述预期的力比位移曲线相比较；

如果所述实际的力比位移曲线与所述预期的力比位移曲线实质上不同，则执行调整所述偏移距离的步骤，并重复在所述第一方向上将所述样品驱动到所述探针的侧面中直到在接触点处检测到接触的驱动步骤、在垂直于所述第一方向的第二方向上将所述探针相对于所述样品移动的相对移动步骤、将所述实际的力比位移曲线与所述预期的力比位移曲线相比较的比较步骤以及调整所述偏移距离的调整步骤，直到所述实际的力比位移曲线与所述预期的力比位移曲线中的至少一个实质上匹配；

在与所述第一方向相反的方向上、与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向上、以及与所述第三方向相反的方向上重复在所述第一方向上执行的步骤；

在所述第一方向上所述特征的所述中心的坐标通过将所述第一方向上的第一测量结果和与所述第一方向相反的方向上的第二测量结果进行平均来计算；以及

在所述第三方向上所述特征的所述中心的坐标通过将所述第三方向上的第一测量结果和与所述第三方向相反的方向上的第二测量结果进行平均来计算。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述偏移距离被预先确定。

3.根据权利要求1所述的方法，其包括以下步骤：在所述实际的力比位移曲线与所述预期的力比位移曲线中的至少一个实质上匹配之后终止驱动、相对移动、比较以及调整的步骤。

4.根据权利要求3所述的方法，其进一步包括传达所述方法的结果的步骤。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述实际的力比位移曲线与所述预期的力比位移曲线实质上不同指示在运动期间所述样品正在所述探针上受阻力。

6.根据权利要求1所述的方法，其中提供至少一个预期的力比位移曲线的所述步骤包括提供多个预期的力比位移曲线。

7.根据权利要求1所述的方法，其中提供至少一个预期的力比位移曲线的所述步骤包括提供预期的力比位移曲线的库。

8.根据权利要求1所述的方法，其中提供至少一个预期的力比位移曲线的所述步骤包括提供预期的力比位移曲线的数据库。

9.根据权利要求6所述的方法，其中所述多个预期的力比位移曲线先前通过对已知在所述探针上没有受阻力的样品执行所述驱动步骤来产生。