[发明专利]一种电镀装置及传感装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种应用于在电镀对象表面进行电解电镀或化学镀的电镀装置，以及使用相同装置的一种传感装置。

背景技术

最近这些年，一种电镀技术已被应用于各种技术领域，例如一种半导体布线技术。进一步的，为了在生产电镀产品时确定电镀条件，电度测试可能在生产开始前被执行，例如使用一种小尺寸的电镀装置。

例如，对比文件1公开了一种电镀测试装置，包括：至少具有一衬底和一侧衬板且注入有电镀液的一容器；以及一阴极板和一阳极板，在容器内的电镀液中水平放置以相互对齐，其中，作为电镀对象的阴极板和阳极板的其中一个被设置在另一个的下面，容器的侧衬板内形成有一开口，用于分别将阴极板和阳极板插入容器中，且容器内可拆卸的设置有用于遮盖开口的一罩板。容器的侧衬板包括多个凹槽，用于容纳处于平行状态的阴极板和阳极板中的至少一块板，以调节阴极板和阳极板之间的沟道。

现有技术文献

专利文献

对比文件1：日本专利申请公开号第2006-299367(权利要求1-3，图1)

发明内容

发明要解决的问题

但是，对比文件1中描述的电镀装置需要在容器的侧衬板内设置有开口和凹槽，以及容纳阴极板和阳极板的容器，使得结构尺寸更大且更复杂，且制造成本和材料成本因此而提高了。所以，需要一种更为简单且更为紧凑的电镀装置。

而且，随着近年来对电镀对象的不断研究和发展，需要一种电镀装置，能够在电镀过程中观察电镀对象的生产过程，例如用高性能显微镜(如拉曼显微镜)。

本发明针对上述问题设计，且作为一个主要科目，提供了一种更简单且可以更容易的制造成比以前尺寸更小的电镀装置，以及使用此装置的传感装置。

进一步的，作为一个次级科目，本发明提供了一种电镀装置，能够观察电镀对象的生产过程。

解决问题的手段

为了解决上述问题，本发明的一种电镀装置包括：一固定部件(2)，用于固定作为阴极的一电镀对象(W)；一垫片(4)，通过第一密封部件(3)堆叠于固定部件(2)上，并以环形形状环绕电镀对象(W)，且包含有暴露电镀对象且储存电镀液的一贯穿部件(45)；以及一阳极部件(6)，通过一第二密封部件(5)堆叠于垫片(4)上，并以环形形状环绕贯穿部件(45)，且包含正对被暴露在贯穿部件(45)下的电镀对象(W)的一阳极溶层(62)。

根据这个结构，电镀装置(1)可容易的通过以下方法简单地形成：堆叠固定部件(2)以固定电镀对象(W)，再通过第一密封部件(3)堆叠利用贯穿部件(45)来存储电镀液的垫片(4)及通过第二密封部件(5)堆叠包含一阳极的阳极部件(6)。所以，电镀装置(1)与对比文件1中描述的电镀装置相比更简单且尺寸更小，比如说，对比文件1中结构复杂的容器是不必要的。进一步的，在本发明中，阳极和阴极之间的距离可以容易的通过更换不同厚度的垫片(4)来调整。

进一步的，垫片(4)包括一垫片主体(41)，垫片主体由一绝缘层组成，和一阳极侧导电层(43)，极侧导电层设置于垫片主体(41)的表面，正对阳极部件(6)，阳极部件(6)包括一阳极部件主体(61)，阳极部件主体由绝缘层组成，和一作为阳极的阳极溶层(62)，阳极溶层设置于阳极部件主体(61)的表面上，，正对垫片(4)，阳极侧导电层(43)与第二密封部件(5)内部的阳极溶层(62)连接，且阳极侧导电层(43)与第二密封部件(5)外部的电源(PW)连接。

根据这个结构，阳极侧导电层(43)与第二密封部件(5)内部的阳极溶层(62)连接，且阳极侧导电层(43)与第二密封部件(5)外部的电源(PW)连接，这能够在给阳极溶层(62)提供电能时，保持垫片(4)和阳极部件(6)之间的密封。

进一步的，阳极部件主体(61)优选地包括一光传输窗口(64)，用于观察暴露于贯穿部件(45)的电镀对象(W)，且阳极溶层(62)优选地环绕窗口(64)周围形成。

该结构能够在电镀过程中通过窗口(64)观察产生于电镀对象(W)上的镀层本身。

更进一步的，窗口(64)优选地具有小于阳极部件主体(61)的其它部分的一厚度(t1)。

这种结构，举例来说，能够设置用来更靠近阴极地观察的一显微镜。因此，在电镀过程中，电镀对象(W)可以被合适地观察。

而且，优选地，窗口(64)的厚度(t1)的范围为0.05mm≤t1≤2mm。