[发明专利]光照射装置

权利要求书

1.一种光照射装置，具备：被处理物支撑台，配置被处理物；紫外线灯，对上述被处理物的被处理面照射真空紫外线；以及光透射窗构件，配置在上述被处理物与上述紫外线灯之间，使来自该紫外线灯的真空紫外线透射，

上述光照射装置的特征在于，

上述被处理物的被处理面与上述光透射窗构件之间所形成的间隙的距离被设为1mm以下，设置有向该间隙沿着该被处理面朝向一个方向供给处理气体的气体供给机构，

在上述被处理物支撑台上的向上述处理气体的供给方向延伸、且不放置被处理物的区域，配设有遮风构件，

上述遮风构件具有能够使位于被处理物上间隙的两侧方的间隙的传导性比该被处理物上间隙的传导性小的形状，其可以抑制或防止处理气体在被处理物的被处理面上向气体供给方向以外的方向流动。

2.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

上述遮风构件被设为与上述光透射窗构件接触的状态，与该光透射窗构件接触的部分由氟树脂形成。