[发明专利]辐射敏感树脂组合物、树脂膜及电子部件

说明书

本发明提供一种辐射敏感树脂组合物，其含有：粘合剂树脂(A)、醌二叠氮系的光产酸剂(B)、(甲基)丙烯酸酯化合物(C)及光聚合引发剂(D)。根据本发明，可提供能够获得对基材显示高密合性、且透明性、感光性及耐药品性优异的树脂膜的辐射敏感树脂组合物。

技术领域

本发明涉及辐射敏感树脂组合物、使用该辐射敏感树脂组合物而得到的树脂膜及电子部件，更具体而言，涉及能够获得对基材显示高密合性、且透明性、感光性及耐药品性优异的树脂膜的辐射敏感树脂组合物、及使用该辐射敏感树脂组合物而得到的树脂膜及电子部件。

背景技术

在触摸屏、柔性有机EL显示器等具有触控面板结构的显示装置、集成电路元件、固体摄像元件、滤色器、黑矩阵等电子部件中，作为用于防止其劣化及损伤的保护膜、用于使元件表面、布线实现平坦化的平坦化膜、用于保持电绝缘性的电绝缘膜等，设置有各种树脂膜。

以往，作为用于形成这样的树脂膜的树脂材料，常用的是环氧树脂等热固性树脂材料。但随着近年来布线、器件的高密度化，对于这些树脂材料，也要求开发出低介电性等电气特性优异的新型的树脂材料。

为了满足这些要求，例如，专利文献1中公开了含有具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物、含不饱和基团的化合物、硅烷改性有机无机杂化化合物及自由基发生型光聚合引发剂的辐射敏感树脂组合物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-211988号公报

发明内容

发明要解决的问题

根据专利文献1中记载的辐射敏感树脂组合物，虽然能够获得透明性等优异的树脂膜，但与钠玻璃基板等透明基板的密合性并不一定充分，因此，其并不适合用于要求与钠玻璃基板等透明基板的密合性优异的树脂材料的用途，例如具有触控面板结构的显示装置的保护膜、电绝缘膜用途。

为此，本发明的目的在于提供一种能够获得对基材显示高密合性、且透明性、感光性及耐药品性优异的树脂膜的辐射敏感树脂组合物。另外，本发明的目的还在于提供使用这样的辐射敏感树脂组合物而得到的树脂膜、以及具备该树脂膜的电子部件。

解决问题的方法

本发明人等为达成上述目的而进行了深入研究，结果发现，利用含有粘合剂树脂、醌二叠氮系的光产酸剂、(甲基)丙烯酸酯化合物及光聚合引发剂的辐射敏感树脂组合物，可以达成上述目的，进而完成了本发明。

即，根据本发明，可提供：

[1]一种辐射敏感树脂组合物，其含有粘合剂树脂(A)、醌二叠氮系的光产酸剂(B)、(甲基)丙烯酸酯化合物(C)、及光聚合引发剂(D)；

[2]上述[1]所述的辐射敏感树脂组合物，其中，相对于上述粘合剂树脂(A)100重量份，上述(甲基)丙烯酸酯化合物(C)的含有比例为0.3～22重量份；

[3]上述[1]或[2]所述的辐射敏感树脂组合物，其中，上述粘合剂树脂(A)为具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A1)、丙烯酸树脂(A2)、卡多(Cardo)树脂(A3)、聚硅氧烷(A4)或聚酰亚胺(A5)；

[4]上述[1]～[3]中任一项所述的辐射敏感树脂组合物，其中，上述光聚合引发剂(D)为自由基发生型光聚合引发剂，相对于上述粘合剂树脂(A)100重量份，上述光聚合引发剂(D)的含量为0.3～8重量份；

[5]上述[1]～[4]中任一项所述的辐射敏感树脂组合物，其中，上述(甲基)丙烯酸酯化合物(C)至少含有四官能以上的(甲基)丙烯酸酯；

[6]上述[5]所述的辐射敏感树脂组合物，其中，上述(甲基)丙烯酸酯化合物(C)为四官能以上的(甲基)丙烯酸酯和单官能的(甲基)丙烯酸酯的组合；