[发明专利]制造装置、供给单元及碳纳米管的制造方法

权利要求书

1.一种制造装置，通过气相催化法来制造碳纳米管，并且所述制造装置的特征在于具备：

第一腔室，具有作为形成碳纳米管的区域的成长区域；

第一调温装置，可调整所述第一腔室内的所述成长区域的温度；

调压装置，可调整所述第一腔室内的压力；

第一供给装置，可对所述第一腔室内的所述成长区域供给碳源；以及

第一气化装置，可将配置在所述制造装置内的液体气化；且

所述第一气化装置可将所述液体气化，以将由所述液体所含有的含铁族元素物质及含卤素物质所形成的至少一种气相催化剂供给至所述第一腔室内的所述成长区域。

2.根据权利要求1所述的制造装置，其中在所述成长区域中配置有基板，可在所述基板的基面上以阵列状形成碳纳米管。

3.根据权利要求1所述的制造装置，其中在所述成长区域中，可通过气相流动反应来形成碳纳米管。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的制造装置，具备可收容所述液体、且其内部与所述第一腔室的内部连通的第二腔室，

所述第一气化装置可将所述第二腔室内的液体气化。

5.根据权利要求4所述的制造装置，其中在所述第一腔室与所述第二腔室之间，具备可调整这些腔室的连通程度的连通调整装置。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的制造装置，其中所述液体可配置在所述第一腔室内。

7.一种供给单元，可供给第一液体，且成为通过气相催化法来制造碳纳米管的制造装置的一部分，其中所述第一液体包含含有气相催化剂的液体及含有所述气相催化剂的前驱物的液体的至少一种，并且不包含作为碳源的化合物，并且所述供给单元的特征在于具备：

供给单元用腔室，可收容所述第一液体；

供给单元用气化装置，可将所述供给单元用腔室内的所述第一液体气化而形成第一气相材料；以及

释出装置，可将所述第一气相材料释出到所述供给单元用腔室外。

8.根据权利要求7所述的供给单元，其中所述供给单元用气化装置具备将液体加热的机构。

9.一种碳纳米管的制造方法，使用根据权利要求7或8所述的供给单元，获得在基板的基面上以阵列状形成的碳纳米管。

10.一种碳纳米管的制造方法，使用根据权利要求7或8所述的供给单元，以气相流动反应的产物的形式获得碳纳米管。

11.一种制造方法，其为碳纳米管的制造方法，并且所述制造方法的特征在于具备：

第一工序，将由第一液体所含有的含铁族元素物质及含卤素物质所形成的至少一种气相催化剂供给至第一腔室内；以及

第二工序，使用基于所述第一腔室内存在的所述气相催化剂所生成的催化剂，由供给至所述第一腔室内的碳源来形成碳纳米管；并且

所述第一工序包括所述第一液体的气化，其中

所述第一液体不包含作为碳源的化合物。

12.根据权利要求11所述的制造方法，其中在所述第一工序中，使配置在所述第一腔室内的基板存在于含有所述气相催化剂的环境内，

在所述第二工序中，在所述基板的基面上以阵列状形成碳纳米管。

13.根据权利要求12所述的制造方法，其中在经过所述第一工序而所述气相催化剂存在于所述第一腔室内的状态下，向所述第一腔室内供给所述碳源。

14.根据权利要求12或13所述的制造方法，其中所述第一工序中的所述基板的温度低于所述第二工序中的所述基板的温度。

15.根据权利要求11所述的制造方法，其中以气相流动反应的产物的形式形成碳纳米管。

16.根据权利要求11至13中任一项所述的制造方法，其中所述含铁族元素物质所含有的铁族元素包含铁。

17.根据权利要求11至13中任一项所述的制造方法，其中在所述第一腔室外进行所述第一液体的气化，将所述第一液体的气化物从所述第一腔室外供给至所述第一腔室内。

18.根据权利要求11至13中任一项所述的制造方法，其中所述第一液体所含有的所述含铁族元素物质包含铁-甲醇络合物。