[发明专利]接触式探针的校准

权利要求书

1.一种校准接触式探针(14)的方法，所述接触式探针具有接触式元件(24)，其特征在于，所述方法包括：用所述接触式探针(14)测量已校准加工品(100、200、300、400、500)的第一几何性质和所述已校准加工品或另一个已校准加工品(100、200、300、400、500)的第二几何性质，所述第一几何性质和所述第二几何性质使得测量值与预期值之间的偏差对于所述第一和第二几何性质中的每一个具有相反符号，所述偏差由所述接触式元件(24)的有效直径(28)与用于确定所述测量值的假定直径之间的差异引起，并且识别所述接触式元件(24)的所述有效直径(28)与所述假定直径的差异，其包括针对所述第一和第二几何性质中的每一个比较所述测量值与所述预期值的偏差以确定所述偏差是否存在差异。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述预期值是所述几何性质的已知尺寸(D1、D2)和/或第一和第二表面(302、402)的已知相对位置。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一和第二几何性质使得在测量所述第一和第二几何性质时所述接触式探针(14)行进的距离实质上相同。

4.根据权利要求2所述的方法，其中所述第一和第二几何性质使得在测量所述第一和第二几何性质时所述接触式探针(14)行进的距离实质上相同。

5.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的方法，其中所述第一几何性质的测量包括通过接触所述已校准加工品(300、400、500)上的第一多个点来测量所述已校准加工品(300、400、500)上的第一距离(D1)，其中所述第一距离(D1)通过将所述假定直径与这样的距离相加来确定，这样的距离是当所述接触式元件(24)接触所述第一多个点时所确定的与所述接触式元件(24)的中心的距离，并且所述第二几何性质的测量包括通过接触所述已校准加工品或所述另一个已校准加工品(300、400、500)上的第二多个点来测量所述已校准加工品(300、400、500)或所述另一个已校准加工品(300、400、500)上的第二距离(D2)，其中所述第二距离(D2)通过从这样的距离中减去所述假定直径来确定，这样的距离是当所述接触式元件(24)接触所述第二多个点时所确定的与所述接触式元件(24)的中心的距离。

6.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的方法，其中所述第一和第二几何性质包括具有实质上相同形状的横截面的第一和第二表面(102、202)。

7.根据权利要求5所述的方法，其中所述第一和第二几何性质包括具有实质上相同形状的横截面的第一和第二表面(102、202)。

8.根据权利要求6所述的方法，其中所述第一表面(102)是凸表面并且所述第二表面(202)是凹表面。

9.根据权利要求7所述的方法，其中所述第一表面(102)是凸表面并且所述第二表面(202)是凹表面。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述接触式探针(14)被附接到坐标定位机(8)的套管轴(12)，通过移动所述坐标定位机(8)的臂(12、16、18)来执行所述第一和第二几何性质的测量。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述接触式探针(14)被附接到旋转探头(10)，通过所述旋转探头(10)围绕轴线的旋转来执行所述第一和第二几何性质的测量。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述旋转探头(10)被安装在坐标定位机(8)的套管轴(12)上，在所述坐标定位机(8)的臂(12、16、18)固定在适当位置的情况下通过所述旋转探头(10)的旋转来执行所述第一和第二几何性质的一个测量，并且在所述旋转探头(10)固定在适当位置的情况下通过移动所述坐标定位机(8)的臂(12、16、18)来执行所述第一和第二几何性质的另一测量。