[发明专利]热传感器和用于制造热传感器的方法

权利要求书

1.用于在第一和第二输出端（A、B）之间提供依赖于温度的输出信号（U_temp）的热传感器（1），具有：

场效应晶体管（20），所述场效应晶体管具有栅极连接端子（G）、源极连接端子（S）和漏极连接端子（D）；

二极管（30），所述二极管以一个连接点与所述场效应晶体管（20）的漏极连接端子（D）连接并且以另一连接点与所述热传感器（1）的第一输出端（A）连接；以及

热电发生器（10），所述热电发生器被设计用于在第一和第二连接点之间提供依赖于温度的电压，其中所述第一连接点与所述场效应晶体管（20）的栅极连接端子（G）连接并且所述第二连接点与所述场效应晶体管（20）的源极连接端子（S）以及所述热传感器（1）的第二输出端（B）连接。

2.根据权利要求1所述的热传感器（1），其中所述热电发生器（10）包括具有由具有不同的塞贝克系数的材料构成的至少两个印制导线（11、12）的热电偶。

3.根据权利要求2所述的热传感器（1），其中所述热电发生器（10）包括具有多个热电偶的热电堆。

4.根据权利要求1至3之一所述的热传感器（1），其中至少所述场效应晶体管（20）和所述热电发生器（10）的第一和第二连接点被布置在共同的衬底（2）上。

5.根据权利要求1至4之一所述的热传感器（1），其中所述场效应晶体管（20）、所述热电发生器（10）的第一和第二连接点以及所述二极管（30）被布置在共同的衬底（2）上。

6.具有多个根据权利要求1至5之一所述的热传感器（1）的传感器阵列，其中所述多个热传感器（1）被布置在由行和列构成的矩阵中并且所述多个热传感器（1）中的每个热传感器（1）能够被单独地寻址。

7.一种摄像机，所述摄像机具有根据权利要求6所述的传感器阵列。

8.用于制造热传感器（1）的方法（100），所述热传感器在第一和第二输出端（A、B）之间提供依赖于温度的输出信号（U_temp），所述方法具有如下步骤：

提供（110）场效应晶体管（20），所述场效应晶体管具有栅极连接端子（G）、源极连接端子（S）和漏极连接端子（D）；

提供（120）二极管（30）；

提供（130）热电发生器（10），所述热电发生器被设计用于在第一和第二连接点之间提供依赖于温度的电压；

将所述二极管的一个连接点与所述场效应晶体管（20）的漏极连接端子（D）连接（140）；

将所述二极管（30）的另一连接点与所述热传感器（1）的第一输出端（A）连接（150）；

将所述热电发生器（10）的第一连接点与所述场效应晶体管（10）的栅极连接端子（G）连接（160）；以及

将所述热电发生器（10）的第二连接点与所述场效应晶体管的源极连接端子（S）和所述热传感器（1）的第二输出端（B）连接（170）。