[发明专利]流体涂敷系统以及流体涂敷方法

权利要求书

1.一种流体涂敷系统，包括将流体喷到工件上的涂敷装置、使该涂敷装置与所述工件相对移动的移动装置和控制所述涂敷装置的控制装置，所述流体涂敷系统的特征在于：

所述涂敷装置包括动力源、根据该动力源的输出而使每个单位时间的所述流体的供给量发生变化的流体供给装置和将从该流体供给装置所供给的所述流体喷到工件上的喷嘴；

所述控制装置在以使涂敷在所述工件上的流体的线宽度为一定的方式，通过降低所述喷嘴相对于所述工件的移动速度，并根据该移动速度的降低来减少所述动力源的输出，以使来自所述喷嘴的每个单位时间的所述流体的喷出量改变目标变动量时，

使所述动力源的输出以暂时超出根据所述喷出量的目标变动量而求出的所述动力源的理论上的输出的方式进行减少，然后使其为所述理论上的输出，以使得所述喷嘴的内压力的变化量成为根据所述喷出量的目标变动量所求出的所述喷嘴的内压力的应该降低的量，

在以使涂敷在所述工件上的流体的线宽度为一定的方式，通过增加所述喷嘴相对于所述工件的移动速度，并根据该移动速度的增加来增加所述动力源的输出，以使来自所述喷嘴的每个单位时间的所述流体的喷出量增加目标变动量时，

使所述动力源的输出以暂时超出根据所述喷出量的目标变动量而求出的所述动力源的理论上的输出的方式进行增加，然后使其为所述理论上的输出，以使得所述喷嘴的内压力的变化量成为根据所述喷出量的目标变动量所求出的所述喷嘴的内压力的应该上升的量。

2.根据权利要求1所述的流体涂敷系统，其特征在于：

所述流体为具有压缩性的流体。

3.根据权利要求1或2所述的流体涂敷系统，其特征在于：

所述流体供给装置包括相应于所述动力源的输出而运动的运动元件和形成收容所述运动元件且伴随着所述运动元件的运动来将流体送出的空间的空间形成部件。

4.根据权利要求3所述的流体涂敷系统，其特征在于：

所述流体供给装置为单轴偏心螺杆泵，包括作为所述运动元件的外螺纹型转子和作为所述空间形成部件的内螺纹型定子。

5.根据权利要求1或2所述的流体涂敷系统，其特征在于：

所述移动装置为使所述涂敷装置移动的多关节机器人。

6.一种流体涂敷系统，包括将流体喷到工件上的涂敷装置、使该涂敷装置与所述工件相对移动的移动装置和控制所述涂敷装置的控制装置，所述流体涂敷系统的特征在于：

所述涂敷装置包括动力源、根据该动力源的输出而使每个单位时间的所述流体的供给量发生变化的流体供给装置和将从该流体供给装置所供给的所述流体喷到工件上的喷嘴；

所述控制装置在使所述喷嘴相对于所述工件的移动速度为一定的状态下，通过减少所述动力源的输出，来使来自所述喷嘴的每个单位时间的所述流体的喷出量减少目标变动量，以使涂敷在所述工件上的流体的线宽度伴随着该喷出量的减少而变细时，

使所述动力源的输出以暂时超出根据所述喷出量的目标变动量而求出的所述动力源的理论上的输出的方式进行减少，然后使其为所述理论上的输出，以使得所述喷嘴的内压力的变化量成为根据所述喷出量的目标变动量所求出的所述喷嘴的内压力的应该降低的量，

在使所述喷嘴相对于所述工件的移动速度为一定的状态下，通过增加所述动力源的输出，来使来自所述喷嘴的每个单位时间的所述流体的喷出量增加目标变动量，以使涂敷在所述工件上的流体的线宽度伴随着该喷出量的增加而变粗时，

使所述动力源的输出以暂时超出根据所述喷出量的目标变动量而求出的所述动力源的理论上的输出的方式进行增加，然后使其为所述理论上的输出，以使得所述喷嘴的内压力的变化量成为根据所述喷出量的目标变动量所求出的所述喷嘴的内压力的应该上升的量。

7.根据权利要求6所述的流体涂敷系统，其特征在于：

所述流体为具有压缩性的流体。

8.根据权利要求6或7所述的流体涂敷系统，其特征在于：

所述流体供给装置包括相应于所述动力源的输出而运动的运动元件和形成收容所述运动元件且伴随着所述运动元件的运动来将流体送出的空间的空间形成部件。

9.根据权利要求8所述的流体涂敷系统，其特征在于：

所述流体供给装置为单轴偏心螺杆泵，包括作为所述运动元件的外螺纹型转子和作为所述空间形成部件的内螺纹型定子。