[发明专利]气体传感器装置

权利要求书

1.一种气体传感器装置，其包括测量气体的浓度的浓度传感器和测量气体的压力的压力传感器，所述气体传感器装置的特征在于，

在壳体内设置有与空气流隔离的测量室，在所述测量室内配置有所述浓度传感器和所述压力传感器，且所述气体传感器装置设置有利用所述压力传感器的信号来调整所述浓度传感器的信号的处理电路部，

在所述处理电路部中设置有响应速度调整部，所述响应速度调整部使压力传感器的压力信号的响应速度接近浓度传感器的浓度信号的响应速度，

所述响应速度调整部具有如下功能：从来自所述压力传感器的压力信号中去除或衰减比与所述浓度传感器的浓度信号的响应速度对应的频率高的高频信号成分，

所述浓度信号根据由所述响应速度调整部调整后的压力信号来进行修正。

2.根据权利要求1所述的气体传感器装置，其特征在于，

所述处理电路部中包括：第一A/D转换器，其输入来自所述浓度传感器的浓度信号并转换为数字值；以及第二A/D转换器，其输入来自所述压力传感器的压力信号并转换为数字值，

所述响应速度调整部具有从被转换为数字值后的压力信号中去除或衰减所述高频信号成分的功能，

所述气体传感器装置包括运算器，所述运算器根据由所述响应速度调整部去除或衰减所述高频信号成分后的压力信号，对经所述第一A/D转换器转换为数字值后的浓度信号进行修正运算。

3.根据权利要求2所述的气体传感器装置，其特征在于，

设置将所述测量室连通至供成为测定对象的气体流动的外部空间的连通路，并且在沿所述气体的流动的壳体面上开设所述连通路。

4.根据权利要求3所述的气体传感器装置，其特征在于，

所述浓度传感器利用发热电阻器的散热量因气体的浓度而发生变化这一特性来测量气体的浓度。

5.根据权利要求4所述的气体传感器装置，其特征在于，

所述浓度传感器将所述发热电阻器形成于在半导体基板上形成的薄壁部上。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的气体传感器装置，其特征在于，

以与所述壳体一体化的方式具备流量传感器元件及吸入气体温度传感器元件，且具备测量湿度的湿度传感器作为所述浓度传感器，并使用所述湿度传感器的湿度信号或所述压力信号对所述流量传感器元件的流量信号施加修正。