[发明专利]具有变化厚度的电感器

权利要求书

1.一种装置，包括：

基板；以及

布置在所述基板上的螺旋电感器，所述螺旋电感器是梯度层堆叠电感器，其中

所述螺旋电感器的最内匝的第一部分具有在垂直于所述基板的方向上的第一厚度，

所述最内匝的第二部分具有在垂直于所述基板的方向上的第二厚度，其中所述第二厚度大于所述第一厚度，

所述螺旋电感器的所述最内匝的第三部分具有在垂直于所述基板的方向上的第三厚度，其中所述第三厚度大于所述第一厚度和所述第二厚度，并且

所述螺旋电感器在垂直于所述基板的方向上的厚度根据所述最内匝中从所述第一厚度到所述第三厚度的梯度而增大。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述螺旋电感器包括第一导电螺旋和第二导电螺旋，其中所述第一导电螺旋覆盖所述第二导电螺旋，

所述最内匝的所述第一部分包括所述第二导电螺旋的第一端部且不覆盖所述第一导电螺旋，

所述最内匝的所述第三部分包括所述第一导电螺旋的第一端部和所述第二导电螺旋的一部分，并且

所述导电螺旋的最外匝的一部分包括所述第二导电螺旋的一部分和所述第一导电螺旋的一部分。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第二导电螺旋的第一长度大于所述第一导电螺旋的第二长度。

4.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述螺旋电感器进一步包括在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的导电层，其中所述最内匝的所述第二部分包括所述第二导电螺旋的一部分和所述导电层的第一端部且不覆盖所述第一导电螺旋。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述导电层包括非连续螺旋。

6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述导电层包括输入引线、输出引线、或其组合。

7.如权利要求2所述的装置，其特征在于，进一步包括形成在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的钝化层。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第二导电螺旋通过延伸穿过所述钝化层的一部分的通孔电连接至所述第一导电螺旋。

9.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述最内匝在垂直于所述基板的方向上的厚度从所述最内匝的所述第一部分到所述最内匝的所述第二部分单调递增。

10.一种方法，包括：

形成耦合至基板的螺旋电感器的导电螺旋；以及

在所述导电螺旋之上形成所述螺旋电感器的导电层，其中

所述螺旋电感器的最内匝的第一部分具有在垂直于所述基板的方向上的第一厚度，

其中所述最内匝的第二部分具有在所述垂直于所述基板的方向上的第二厚度，其中所述第二厚度大于所述第一厚度，

其中所述螺旋电感器的所述最内匝的第三部分具有在所述垂直于所述基板的方向上的第三厚度，其中所述第三厚度大于所述第一厚度和所述第二厚度，并且

其中所述螺旋电感器的厚度根据所述最内匝中从所述第一厚度到所述第三厚度的梯度而增大。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于：

形成所述螺旋电感器的所述导电螺旋包括：

形成第一导电螺旋；以及

形成布置在所述基板上的第二导电螺旋，其中所述第一导电螺旋覆盖所述第二导电螺旋，

所述最内匝的所述第一部分包括所述第二导电螺旋的第一部分且不覆盖所述第一导电螺旋，

所述最内匝的所述第三部分包括所述第一导电螺旋的第一部分，并且

所述螺旋电感器的最外匝的一部分包括所述第二导电螺旋的第二部分和所述第一导电螺旋的第二部分。