[发明专利]纯水的制造方法及装置

权利要求书

1.一种超纯水的制造方法，其在超纯水制造装置中进行，该超纯水制造装置具备一次纯水制造装置和二次纯水制造装置，并且在所述二次纯水制造装置中得到的超纯水被送到使用点，从所述使用点返回的剩余的超纯水与来自所述一次纯水制造装置的一次纯水的混合水作为被处理水，在所述二次纯水制造装置中进行处理，

其中，在所述二次纯水制造装置中，在将被处理水用紫外线氧化装置进行紫外线氧化处理后，再通过使用铂系催化剂的过氧化氢去除装置进行过氧化氢去除处理，

所述铂系催化剂，是将铂系金属的胶体粒子负载在阴离子交换树脂上的催化剂，

使向所述紫外线氧化装置的给水的TOC为5ppb以下，

向所述紫外线氧化装置的给水的无机碳酸离子浓度为小于1ppb，并且通过该紫外线氧化装置处理过的紫外线氧化处理水的无机碳酸离子浓度为1ppb以上。

2.如权利要求1所述的超纯水的制造方法，其中，将来自所述紫外线氧化装置的紫外线氧化处理水进行阴离子交换处理后，通过所述过氧化氢去除装置进行过氧化氢去除处理。

3.一种超纯水制造装置，其具备一次纯水制造装置和二次纯水制造装置，并且在所述二次纯水制造装置中得到的超纯水被送到使用点，从所述使用点返回的剩余的超纯水与来自所述一次纯水制造装置的一次纯水的混合水作为被处理水，在所述二次纯水制造装置中进行处理，

其中，所述二次纯水制造装置具备紫外线氧化装置、设置在紫外线氧化装置后段并且具有铂系催化剂的过氧化氢去除装置、和使该紫外线氧化装置的给水的TOC为5ppb以下的装置，

所述铂系催化剂，是将铂系金属的胶体粒子负载在阴离子交换树脂上的催化剂，

向所述紫外线氧化装置的给水的无机碳酸离子浓度为小于1ppb，并且设定所述紫外线氧化装置的紫外线氧化处理条件，以使该紫外线氧化装置的流出水中的无机碳酸离子浓度为1ppb以上。

4.如权利要求3所述的超纯水制造装置，其中，在所述紫外线氧化装置与过氧化氢去除装置之间设有阴离子交换装置。