[发明专利]绝压和差压传感器

权利要求书

1.一种绝压和差压传感器组合，所述绝压和差压传感器组合包括：

至少第一腔和第二腔；

至少第一压力端口和第二压力端口；

第一隔离膜，所述第一隔离膜使得所述第一腔接触应用于所述第一压力端口的第一流体压力；

至少第二隔离膜，所述第二隔离膜使得所述第二腔接触应用于所述第二压力端口的第二流体压力；

至少一个绝压传感元件，所述至少一个绝压传感元件接触所述第一腔和所述第二腔的其中一个中的绝压；以及

至少一个差压传感元件，所述至少一个差压传感元件接触所述第一腔和所述第二腔之间的差压。

2.根据权利要求1所述的绝压和差压传感器组合，其中所述第一腔和所述第二腔的至少一个用液体填充，其中，所述至少一个绝压传感元件包括两个绝压传感元件。

3.根据权利要求1所述的绝压和差压传感器组合，其中至少所述第一腔和所述第二腔在单一的主体内形成。

4.根据权利要求1所述的绝压和差压传感器组合，其中至少所述第一腔和所述第二腔在分开的主体内形成。

5.根据权利要求1所述的绝压和差压传感器组合，所述绝压和差压传感器组合进一步包括至少一个温度敏感元件，所述至少一个温度敏感元件热连接至所述第一腔和所述第二腔的至少一个。

6.根据权利要求5所述的绝压和差压传感器组合，其中所述绝压和差压传感器组合配置成使用所述温度敏感元件以补偿任何计量器温度系数。

7.根据权利要求1所述的绝压和差压传感器组合，所述绝压和差压传感器组合进一步包括连接至传感器主体的电路板。

8.根据权利要求7所述的绝压和差压传感器组合，其中所述电路板进一步包括存储器，所述存储器配置成存储包括用于所述绝压和差压传感器组合的校准数据的数据。

9.根据权利要求8所述的绝压和差压传感器组合，其中所述电路板进一步包括电路和仪表放大器，所述电路和所述仪表放大器的表现影响由所述绝压和差压传感器组合提供的压力信号的校准。

10.根据权利要求7所述的绝压和差压传感器组合，其中所述电路板进一步包括加速计，所述加速计能够指示所述绝压和差压传感器组合接触的任何净重力和加速力的大小和方向。

11.根据权利要求1所述的绝压和差压传感器组合，其中所述第一隔离膜和所述第二隔离膜的至少一个为柔性波纹金属膜片。

12.根据权利要求1所述的绝压和差压传感器组合，其中所述第一隔离膜和所述第二隔离膜的至少一个具有精确指定的轮廓，所述精确指定的轮廓由所述绝压和差压传感器组合的安装表面隆起。

13.根据权利要求1所述的绝压和差压传感器组合，其中所述绝压和差压传感器组合的接触过程流体的所有表面由耐腐蚀金属合金制成。

14.一种质量流量计，所述质量流量计包括：

层流流量元件；

绝压和差压传感器组合，所述绝压和差压传感器组合包括至少第一腔和第二腔，至少第一压力端口和第二压力端口，使得所述第一腔接触应用于所述第一压力端口的第一流体压力的第一隔离膜，使得所述第二腔接触应用于所述第二压力端口的第二流体压力的第二隔离膜，接触所述第一腔和所述第二腔的其中一个中的绝压的至少一个绝压传感元件，以及接触所述第一腔和所述第二腔之间的差压的至少一个差压传感元件；

温度传感元件，所述温度传感元件配置成提供所述层流流量元件中的流体的温度；以及

处理元件，所述处理元件配置成将所述流体的温度、所述绝压、所述差压、以及流体性能和层流流量元件特性的知识转换为指示通过所述层流流量元件的质量流率的信号。