[发明专利]用于测量光学各向异性参数的方法和装置在审
申请号: | 201480049210.8 | 申请日: | 2014-10-03 |
公开(公告)号: | CN105745517A | 公开(公告)日: | 2016-07-06 |
发明(设计)人: | M.H.史密斯;邹阳 | 申请(专利权)人: | 阿克索梅特里克斯公司 |
主分类号: | G01J4/00 | 分类号: | G01J4/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 周学斌;刘春元 |
地址: | 美国阿*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 测量 光学 各向异性 参数 方法 装置 | ||
1.一种在装置中用于测量材料的光学各向异性属性的方法,包括:
测量如下中的一个:(1)材料的Mueller矩阵,(2)材料的二向衰减取向,以及(3)材料的延迟量值;以及
基于测量的如下中的一个来确定与材料的各向异性量值成比例的值:(1)材料的Mueller矩阵,(2)材料的二向衰减取向,以及(3)材料的延迟量值。
2.根据权利要求1所述的方法,进一步包括基于测量的如下中的一个来针对所述材料确定各向异性取向:(1)材料的Mueller矩阵,(2)材料的二向衰减取向,以及(3)材料的延迟量值。
3.一种在装置中用于测量材料的光学各向异性属性的方法,包括:
以第一角度测量材料的Mueller矩阵;
基于以第一角度测量的Mueller矩阵来确定材料的二向衰减取向;
将材料旋转到第二角度;
以第二角度测量材料的Mueller矩阵;
基于以第二角度测量的Mueller矩阵来确定材料的二向衰减取向;
储存确定的二向衰减取向和第一角度以及第二角度的数据集;
将公式曲线拟合到确定的二向衰减取向和第一角度以及第二角度的所储存的数据集来确定拟合参数;以及
使用确定的拟合参数来确定材料的各向异性取向和与材料的各向异性量值成比例的值。
4.根据权利要求3所述的方法,进一步包括:
重复地实行:
(1)将材料旋转到不同角度,
(2)以所述不同角度测量材料的Mueller矩阵,以及
(3)基于以所述不同角度测量的Mueller矩阵来确定材料的二向衰减取向。
5.根据权利要求4所述的方法,其中所述公式是:
以及其中P是二向衰减取向,
θ是材料的旋转角度,
B与材料的各向异性量值成比例,以及
B是材料的各向异性取向。
6.根据权利要求3所述的方法,其中
C与如下中的一个成比例:(1)材料的预先倾斜,以及(2)测量中的倾斜误差,以及
C与测量中倾斜误差的方向成比例。
7.根据权利要求6所述的方法,进一步包括:
将公式曲线拟合到确定的二向衰减取向和第一角度、第二角度以及不同角度的储存的数据集来确定拟合参数;以及
使用确定的拟合参数来确定材料的各向异性取向和与材料的各向异性量值成比例的值。
8.根据权利要求6所述的方法,进一步包括:
以20度增量旋转所述材料通过360度;
以20度增量的每个增量角度测量材料的Mueller矩阵;以及
基于以20度增量的每个角度所测量的Mueller矩阵来确定材料的二向衰减取向。
9.一种用于测量材料的光学各向异性属性的装置,包括:
偏振计,其被配置成:
测量材料的Mueller矩阵;以及
处理器,其被配置成:
基于材料的所测量的Mueller矩阵来确定与材料的各向异性量值成比例的值。
10.根据权利要求9所述的装置,进一步包括基于材料的所测量的Mueller矩阵来针对所述材料确定各向异性取向。
11.一种用于测量材料的光学各向异性属性的装置,包括:
偏振计,其被配置成:
以第一角度测量材料的Mueller矩阵;以及
以第二角度测量材料的Mueller矩阵;
旋转固定器,其被配置成:
将所述材料旋转到第二角度;以及
处理器,其被配置成:
基于以第一角度测量的Mueller矩阵来确定材料的二向衰减取向;
基于以第二角度测量的Mueller矩阵来确定材料的二向衰减取向;
储存确定的二向衰减取向和第一角度以及第二角度的数据集;
将公式曲线拟合到确定的二向衰减取向和第一角度以及第二角度的所储存的数据集来确定拟合参数;以及
使用确定的拟合参数来确定材料的各向异性取向和与材料的各向异性量值成比例的值。
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